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領(lǐng)邦儀器:太陽(yáng)能硅片自動(dòng)分檢系統(tǒng)解決方案


  來(lái)源: 儀器儀表商情網(wǎng) 時(shí)間:2015-07-29 作者:
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【基本原理】
      系統(tǒng)整體采用非接觸測(cè)量方式,通過(guò)在流水線中設(shè)置五個(gè)工位,分別實(shí)現(xiàn)硅片各個(gè)參數(shù)的檢測(cè)。其中,電阻率、厚度、TTV、P/N型號(hào)、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實(shí)現(xiàn)非接觸自動(dòng)檢測(cè);輪廓尺寸采用機(jī)器視覺(jué)技術(shù)實(shí)現(xiàn);隱裂、孔洞缺陷通過(guò)紅外視覺(jué)技術(shù)實(shí)現(xiàn);表面臟污缺陷通過(guò)機(jī)器視覺(jué)技術(shù)并輔以特殊設(shè)計(jì)光源實(shí)現(xiàn);線痕缺陷通過(guò)光針掃描技術(shù)實(shí)現(xiàn)。

  【規(guī)格指標(biāo)】
       (1)能夠適應(yīng)三種規(guī)格單晶硅片檢測(cè)需求,包括6吋(邊長(zhǎng)125mm×125mm,對(duì)角線150mm)、6.5吋(邊長(zhǎng)125mm×125mm,對(duì)角線165mm)、8吋(邊長(zhǎng)156mm×156mm,對(duì)角線200mm);

       (2)能夠檢測(cè)硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTVP/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP;

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