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領(lǐng)邦儀器:太陽能硅片自動分檢系統(tǒng)解決方案


  來源: 儀器儀表商情網(wǎng) 時間:2015-07-29 作者:
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【基本原理】
      系統(tǒng)整體采用非接觸測量方式,通過在流水線中設(shè)置五個工位,分別實現(xiàn)硅片各個參數(shù)的檢測。其中,電阻率、厚度、TTVP/N型號、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實現(xiàn)非接觸自動檢測;輪廓尺寸采用機(jī)器視覺技術(shù)實現(xiàn);隱裂、孔洞缺陷通過紅外視覺技術(shù)實現(xiàn);表面臟污缺陷通過機(jī)器視覺技術(shù)并輔以特殊設(shè)計光源實現(xiàn);線痕缺陷通過光針掃描技術(shù)實現(xiàn)。

  【規(guī)格指標(biāo)】
       (1)能夠適應(yīng)三種規(guī)格單晶硅片檢測需求,包括6吋(邊長125mm×125mm,對角線150mm)、6.5吋(邊長125mm×125mm,對角線165mm)、8吋(邊長156mm×156mm,對角線200mm);

       (2)能夠檢測硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP;

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