圖4. 輸入-輸出加速度靈敏度誤差。

初始絕對(duì)失調(diào)

范圍內(nèi)的失調(diào)約為25°C；例如，在模塊制造完成后立即測量的值為25°C ± 5°C。初始絕對(duì)失調(diào)表示大量器件的實(shí)測偏移值的標(biāo)準(zhǔn)差。

兩點(diǎn)校準(zhǔn)

對(duì)于傾角測量應(yīng)用，兩個(gè)主要的誤差來自失調(diào)誤差和靈敏度誤差。這兩種誤差會(huì)導(dǎo)致不可接受的檢測結(jié)果，因此不得忽略。如果我們希望消除這些部分誤差，則應(yīng)對(duì)加速度輸出進(jìn)行校準(zhǔn)。一般地，要對(duì)傾角測量的失調(diào)和靈敏度進(jìn)行一次校準(zhǔn)。若要考慮失調(diào)和靈敏度誤差，則加速度計(jì)輸入與輸出的關(guān)系為：

其中：

A輸出 為失調(diào)誤差，單位為g。

增益為加速度計(jì)的增益，理想值為1。

A實(shí)際為施加于加速度計(jì)的實(shí)際加速度，單位為g。

有兩種基本校準(zhǔn)技術(shù)；其中一種是單點(diǎn)校準(zhǔn)。這種校準(zhǔn)的具體做法是在加速度計(jì)上施加一個(gè)0g場，然后測量輸出。這類校準(zhǔn)只能用于校準(zhǔn)失調(diào)誤差，不能校準(zhǔn)增益誤差。然后，從實(shí)際輸出值中減去0g場里的輸出結(jié)果，消除失調(diào)誤差。這種校準(zhǔn)方法非常簡單，但精度不足，因?yàn)槿匀淮嬖陟`敏度誤差。另一種方法是1g翻轉(zhuǎn)校準(zhǔn)，在+1g和–1g時(shí)采用兩點(diǎn)校準(zhǔn)，并在每個(gè)+1g和–1g場內(nèi)按照以下公式測量加速度輸出：

其中，失調(diào)A失調(diào)的單位為g。

以這兩點(diǎn)信息為基礎(chǔ)，可以按照以下方法解出失調(diào)和增益：

其中，+1g和 1g測量值、A+1g和A–1g均以g為單位。

經(jīng)過這一次校準(zhǔn)以后，可以用該等式計(jì)算實(shí)際加速度，每次都會(huì)消除失調(diào)誤差和靈敏度誤差。

其中，A失調(diào)和A輸出以g為單位。

非線性度

器件的非線性度為測得加速度(AMEA)與理想線性輸出加速度(AFIT)之間的最大偏差。加速度測量數(shù)據(jù)集應(yīng)包括加速度計(jì)的滿量程范圍。其測量方式為Max(|AMEA – AFIT|)。