MEMS孵化器已建成10萬(wàn)平方米，形成穩(wěn)定的45個(gè)單項(xiàng)工藝和17個(gè)產(chǎn)品工藝流程。國(guó)家高新區(qū)MEMS研究院成立了國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域15名頂尖專家組成的專家委員會(huì)，負(fù)責(zé)高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計(jì)等器件研發(fā)，引領(lǐng)平臺(tái)的發(fā)展方向及工藝評(píng)審。去年9月份，清華大學(xué)、同方股份、淄博高新區(qū)三方達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議，研究院建設(shè)、平臺(tái)發(fā)展、基金設(shè)立、項(xiàng)目落地、產(chǎn)業(yè)園區(qū)建設(shè)等協(xié)議內(nèi)容的各項(xiàng)工作正在快速推進(jìn)。高新區(qū)將在現(xiàn)有加工設(shè)備條件和環(huán)境下，開展MEMS制造技術(shù)封裝與裝配過(guò)程中關(guān)鍵技術(shù)的研究和開發(fā)，真正解決其關(guān)鍵技術(shù)形成核心發(fā)明專利，為進(jìn)一步的產(chǎn)業(yè)化奠定良好的知識(shí)產(chǎn)權(quán)基礎(chǔ)。
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