無人駕駛、電子穩(wěn)定、自動導航……萬物互聯(lián)時代，汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展逐漸進入電動化、智能化和無人化的新時期，在這背后，有一項關(guān)鍵技術(shù)發(fā)揮重要作用，這就是微電子機械系統(tǒng)（MEMS）。
“MEMS尺寸最大的不超過一個厘米，最小的僅為幾個微米。就是這么微小的器件，能夠把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。”作為國內(nèi)最早從事MEMS技術(shù)與產(chǎn)品探索研發(fā)的企業(yè)，近年來，電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院河北美泰電子科技有限公司（簡稱“美泰科技”）始終以雄厚的技術(shù)實力、扎實的產(chǎn)品積累，沿著產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新發(fā)展之路，領(lǐng)跑汽車傳感器新賽道。
慣性器件新發(fā)展，搶占自動駕駛制高點
“這個車的方向盤自己轉(zhuǎn)，不用人操作，即可自動駕駛。”技術(shù)人員介紹，使用慣性傳感器就能感受汽車最基本的速度、位置的變化，實現(xiàn)自動泊車、自動駕駛，而這其中的關(guān)鍵核心技術(shù)是該公司完全自主研發(fā)的。“MEMS慣性器件是汽車自動駕駛的傳感器核心芯片，可應用于檢測和測量汽車加速度、傾斜、旋轉(zhuǎn)和多自由度運動，是解決導航、定向和運動載體控制的重要部件。”技術(shù)專家介紹，該系列慣性器件，具有體積小、重量輕、可靠性高、功耗低、成本低、可大批量生產(chǎn)等優(yōu)點，已經(jīng)通過了車規(guī)級最高規(guī)格的AEC-Q100認證。
之所以能夠通過嚴苛的車規(guī)級認證，與美泰科技長期在MEMS領(lǐng)域的專注與堅持是分不開的。
作為國內(nèi)MEMS慣性器件的先行者，美泰科技率先開始了MEMS技術(shù)與產(chǎn)品的探索與研發(fā)，推出了我國首款實用化MEMS加速度傳感器，占領(lǐng)了慣性技術(shù)的高地。瞄準產(chǎn)業(yè)化市場，美泰科技敏銳洞察到了MEMS慣性器件在汽車領(lǐng)域中的重要作用，推出了集成的MEMS慣性/衛(wèi)星組合導航系統(tǒng)，該款產(chǎn)品能夠輸出高實時性、高連續(xù)性的車輛姿態(tài)、方位、位置、速度信息等傳感數(shù)據(jù)，具有不間斷厘米級定位精度、不受外界干擾等獨特優(yōu)勢，實現(xiàn)了對自動駕駛汽車“全天候”精確定位定向，也在國際上首次實現(xiàn)MEMS慣性器件用于自動駕駛領(lǐng)域，目前已成功批量應用于國內(nèi)主流頭部車企重點車型，累計出貨超20萬套。
發(fā)揮感知力量，領(lǐng)跑汽車傳感器新賽道
“我們研發(fā)生產(chǎn)的都是超小體積的高科技產(chǎn)品，通過創(chuàng)新工藝讓汽車傳感器產(chǎn)品具有更多可能！”在美泰科技的傳感器部，產(chǎn)品設(shè)計師拿起了最新的8英寸倒裝焊壓力晶圓。“這一片上面有2萬顆感應芯片，每個芯片只有一顆小米粒大小，比以前的傳統(tǒng)技術(shù)芯片體積縮小了幾百倍，但靈敏度更高了！”
這種自主研發(fā)的倒裝焊壓力芯片通過無引線裝技術(shù)，可以應用在各種介質(zhì)中，具有應力小、精度高、體積小、低成本的優(yōu)勢，廣泛用于汽車機油壓力、發(fā)動機進氣壓力、空調(diào)系統(tǒng)、油箱蒸汽壓力、新能源電池溫度壓力等領(lǐng)域，已累計出貨近百萬只。
倒裝焊壓力芯片的研發(fā)是公司主動應對市場需求進行的創(chuàng)新突破。
近年來，美泰科技不斷加大研發(fā)投入、持續(xù)提升產(chǎn)能、加強供應鏈建設(shè)、強化質(zhì)量改進，實現(xiàn)MEMS慣性器件與系統(tǒng)在自動駕駛市場的全覆蓋，加快MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化的全速發(fā)展，成功入圍第四批國家級“專精特新”小巨人企業(yè)，并連續(xù)多年問鼎中國半導體MEMS十強企業(yè)。
攀登產(chǎn)品科研生產(chǎn)高峰，只有起點，沒有終點。
“從茫茫太空到浩瀚海洋，再到各種復雜的工程系統(tǒng)，幾乎每個現(xiàn)代化項目，都離不開MEMS傳感器，這也給我們更好履行肩負的加快推動MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展使命，賦予了強大動力?！痹谛碌臋C遇與背景下，美泰科技將持續(xù)聚焦核心競爭力，借助感知力量，打造極致產(chǎn)品，持續(xù)提高自動化、智能化和可靠性水平，不斷推動中國MEMS技術(shù)高質(zhì)量發(fā)展。
通訊員/劉穩(wěn) 記者/王雪姣 校對/楊曉艾
