近日，科技部發(fā)布了《科技部關(guān)于發(fā)布國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“高性能制造技術(shù)與重大裝備”等6個(gè)重點(diǎn)專項(xiàng)2023年度項(xiàng)目申報(bào)指南的通知》。其中，“智能傳感器”重點(diǎn)專項(xiàng)圍繞智能傳感基礎(chǔ)及前沿技術(shù)、傳感器敏感元件關(guān)鍵技術(shù)、譜系化智能傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用、傳感器研發(fā)支撐平臺(tái)等4個(gè)方向進(jìn)行布局，涵蓋共性關(guān)鍵技術(shù)19項(xiàng)、應(yīng)用示范5項(xiàng)、基礎(chǔ)研究11項(xiàng)。
清單如下：
1 智能傳感基礎(chǔ)及前沿技術(shù)
1.1 太赫茲源—測集成技術(shù)及傳感器（基礎(chǔ)研究類）
1.2 微機(jī)電雙諧振差頻傳感機(jī)理及溫度傳感器（基礎(chǔ)研究類）
1.3 仿神經(jīng)丘感算一體技術(shù)及微壓流場傳感陣列（基礎(chǔ)研究類）
1.4 摩擦電調(diào)控場效應(yīng)作用機(jī)理及觸覺傳感技術(shù)研究（基礎(chǔ)研究類）
1.5 框架核酸的分子識(shí)別機(jī)理及生物傳感器研究（基礎(chǔ)研究類）
1.6 熒光納米復(fù)合材料傳感機(jī)理及生物傳感器研究（基礎(chǔ)研究類）
1.7 柔性壓電復(fù)合材料力電耦合調(diào)控方法及結(jié)構(gòu)共形器件（基礎(chǔ)研究類）
1.8 敏感材料組分有序調(diào)控工藝及跨尺度共體傳感器（基礎(chǔ)研究類）
1.9 晶圓級碳化硅微納加工工藝及傳感器研制（基礎(chǔ)研究類）
1.10 微納傳感器激光加工新工藝研究（基礎(chǔ)研究類，青年科學(xué)家項(xiàng)目）
1.11 超低功耗微納傳感器敏感元件技術(shù)研究（基礎(chǔ)研究類，青年科學(xué)家項(xiàng)目）
2 傳感器敏感元件關(guān)鍵技術(shù)
2.1 汽車安全氣囊系統(tǒng)雙軸加速度敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.2 高靜壓下差壓測量敏感元件及多參數(shù)檢測傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.3 高溫高頻響硅基壓力敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.4 浸入式微型液體壓力敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.5 微量程流量敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.6 絕對式位移精密測量敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.7 寬溫區(qū)MEMS 光纖多物理量敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.8 非接觸溫度場敏感元件及智能傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.9 高精度高分辨光場圖像敏感元件及智能傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.10 4D 成像毫米波雷達(dá)傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.11 寬溫域高精度量子電流敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.12 快響應(yīng)自給能中子敏感元件及復(fù)合傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.13 界面穩(wěn)定電化學(xué)氣體敏感元件及智能傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.14 超快響應(yīng)濕度敏感元件及傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.15 疾病標(biāo)志物單分子免疫敏感元件及分析儀器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.16 生物分子超高通量篩查微陣列芯片及快速檢測傳感器（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
2.17 MEMS 敏感元件設(shè)計(jì)與產(chǎn)品開發(fā)（共性關(guān)鍵技術(shù)類，科技型中小企業(yè)項(xiàng)目）
3 譜系化智能傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用
3.1 大型模鍛壓機(jī)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用（應(yīng)用示范類）
3.2 紗線生產(chǎn)關(guān)鍵工序質(zhì)量在線檢測傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用（應(yīng)用示范類，定向擇優(yōu)）
3.3 儲(chǔ)糧品質(zhì)高精度檢測傳感器及國家儲(chǔ)備糧庫應(yīng)用（應(yīng)用示范類，定向擇優(yōu)）
3.4 煤炭采掘過程監(jiān)測傳感器及采煤作業(yè)安全預(yù)警應(yīng)用（應(yīng)用示范類）
3.5 列車前向運(yùn)行環(huán)境監(jiān)測傳感器及系統(tǒng)應(yīng)用（應(yīng)用示范類）
4 傳感器研發(fā)支撐平臺(tái)
4.1 多尺寸兼容的多材料體系MEMS 研發(fā)平臺(tái)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
4.2 8 英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS 傳感器制造工藝平臺(tái)（共性關(guān)鍵技術(shù)類）
項(xiàng)目申報(bào)單位網(wǎng)上填報(bào)預(yù)申報(bào)書的受理時(shí)間為：2023年6月20日8:00至7月24日16:00。
