在半導(dǎo)體器件、超導(dǎo)材料和光電器件等測(cè)試領(lǐng)域中，為了更全面地檢測(cè)器件特性，提升整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的效率，往往對(duì)供給電源和測(cè)量同步性方面有更嚴(yán)格的要求，不僅要高效率高精度，而且要更便捷。

TH199X系列精密源/測(cè)量單元（SMU）將高功率、高精度、高速源測(cè)量功能集成到單個(gè)儀器上，可以在四個(gè)象限內(nèi)執(zhí)行出色的電流/電壓輸出與測(cè)量，并具備直流、掃描、脈沖等多樣化功能，使您能夠執(zhí)行各種不同的功能以及通過(guò)同一針腳進(jìn)行各種不同的設(shè)備測(cè)試，這不僅簡(jiǎn)化了連接，而且減少了使用儀器的種類和數(shù)量，降低了測(cè)試系統(tǒng)的占地空間和總體成本。

Q：TH199X突破了哪些設(shè)計(jì)難點(diǎn)？

A1 四象限輸出，控制環(huán)路設(shè)計(jì)

要實(shí)現(xiàn)全象限的Force Voltage / Measure & Clamp Current以及Force Current / Measure & Clamp Voltage的功能，如果要使用離散器件搭建整個(gè)控制環(huán)路，無(wú)疑是非常復(fù)雜的。

作為主控的TH1991/TH1992系列不僅集成了Force Voltage和Force Current的環(huán)路控制以及鉗位功能，同時(shí)內(nèi)部也集成多個(gè)range的shunt電阻可以實(shí)現(xiàn)多檔位的電流測(cè)量，可輸出高達(dá)±210V直流電壓、±3A直流電流以及±10.5A脈沖電流、最小10fA/100nV的電源和測(cè)量分辨率，支持高速采樣，可生成任意波形。

A2 多種工作模式及測(cè)量

TH1991/TH1992系列精密源/測(cè)量電源打破傳統(tǒng)臺(tái)式SMU的局限性，具有更快速、更靈活、更小巧的特性。這種結(jié)合使得這些儀器不僅能夠?qū)崿F(xiàn)傳統(tǒng)SMU之外的功能，而且變成一款多功能的儀器，可同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流，在儀器中集成了電流源、電壓源、電壓表、電流表、電阻表功能，各功能可任意切換。

A3 半導(dǎo)體元件靜態(tài)特性測(cè)試

TH1991/TH1992系列精密源/測(cè)量單元系列采用了7英寸電容式觸摸屏，以Linux操作系統(tǒng)為底層，交互式圖形用戶界面及各種顯示模式，并內(nèi)置了二極管、三極管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲線掃描功能，無(wú)需連接上位機(jī)即可完成IV功能測(cè)試，可顯著提高測(cè)試效率。

A4 TH199X系列-二極管CV曲線分析

以往半導(dǎo)體CV曲線通常只測(cè)試正向電壓和電容的曲線，因而目前市場(chǎng)上測(cè)試CV曲線方案的電壓源部分只能輸出正向電壓，但特殊需求的客戶，需要測(cè)試電容的正反向CV特性曲線，目前市場(chǎng)上無(wú)具體解決方案。

同惠TH2838H精密LCR數(shù)字電橋結(jié)合TH1991系列精密源/測(cè)量單元完美的解決了這個(gè)問(wèn)題，可提供20Hz-2MHz測(cè)試頻率范圍，±200V正反向電壓下的測(cè)試需求。具體方案如下：