乳夹 震动 走绳play 调教,国产真实乱人偷精品人妻,亚洲精品在线观看,人妻av无码专区久久绿巨人

 
當(dāng)前位置: 首頁 » 市場(chǎng)觀察 » 市場(chǎng)分析 » 正文

雙光束超分辨光刻技術(shù)的發(fā)展和未來


  來源: 半導(dǎo)體行業(yè)觀察 時(shí)間:2024-07-10 編輯:淺淺
分享到:

?

圖1 電子束光刻(a)、單光束光刻(b)、雙光束光刻(c)技術(shù)的比較



雙光束超分辨光刻技術(shù)原理來源于受激輻射損耗顯微成像技術(shù)(stimulated emission depletion,STED),其基本原理如圖2所示。首先,第2束激發(fā)光將艾里斑內(nèi)的熒光分子從基態(tài)S0激發(fā)至第一激發(fā)態(tài)的較高振動(dòng)態(tài),然而處于較高振動(dòng)態(tài)的電子會(huì)通過振動(dòng)弛豫躍遷至第一激發(fā)態(tài)的最低振動(dòng)態(tài)S1。隨后,第2束損耗光,將艾里斑周邊處于激發(fā)態(tài)的熒光分子淬滅激發(fā),從而躍遷至基態(tài)的較高振動(dòng)態(tài),隨后通過振動(dòng)弛豫回到基態(tài)最低振動(dòng)態(tài)S0。由于受激吸收和受激輻射存在平等的競(jìng)爭(zhēng)關(guān)系,即受激吸收過程→S1和受激輻射過程S1→的概率是相同的,但是由于振動(dòng)弛豫的速率要遠(yuǎn)大于熒光輻射速率,因此,處于振動(dòng)態(tài)的電子迅速躍遷回S0而避免出現(xiàn)二次激發(fā),從S1→的受激輻射過程就占絕對(duì)優(yōu)勢(shì)。這樣,就只有艾里斑中心處于最低激發(fā)態(tài)S1的熒光分子能通過自發(fā)熒光輻射的過程躍遷至基態(tài)S0而自發(fā)輻射發(fā)射熒光。



圖2 受激輻射顯微成像技術(shù)超分辨成像原理



理論上,由于STED損耗光為環(huán)狀且其中心強(qiáng)度為零,因此環(huán)狀損耗光越強(qiáng),則由第1束激發(fā)光激發(fā)的熒光分子所占的區(qū)域就越小,其橫向分辨率就越高。在保證激發(fā)光聚焦光斑中心處熒光光強(qiáng)不變的情況下,熒光材料在激發(fā)光作用下熒光強(qiáng)度分布的半高寬會(huì)顯著縮窄,從而提高基于熒光強(qiáng)度分布測(cè)量的成像分辨率。受此啟發(fā),將2束不同波長(zhǎng)的光通過光路合束,再通過投影物鏡最終作用于特制的光刻膠材料,也可以產(chǎn)生與使用短波長(zhǎng)光源時(shí)相同甚至更好的光刻分辨率效果,從而大幅度降低研制難度。要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)首先需要選擇2種不同波長(zhǎng)的光(圖3),一束激發(fā)光作用和EUV光刻機(jī)的光源作用一致,目的都是讓光刻膠產(chǎn)生聚合;另一束光是損耗光,是通過相位調(diào)制所產(chǎn)生的空心光,作用是將激發(fā)光產(chǎn)生的外圍光斑的引發(fā)劑淬滅回基態(tài),使得外圍單體不發(fā)生聚合反應(yīng),這樣就只有2束光聚焦光斑的中心區(qū)域發(fā)生聚合,因而能夠?qū)崿F(xiàn)超分辨的寫入效果。2束光需要通過雙色鏡進(jìn)行合束,雙色鏡在不改變?cè)械?束光的路徑的前提下,同時(shí)可以讓第2束光耦合到原有第1束光的光路中來,并一同進(jìn)入到光刻投影物鏡。選擇2束光的波長(zhǎng)時(shí)差距盡可能大,避免產(chǎn)生交叉激發(fā)的現(xiàn)象。



關(guān)鍵詞:光刻技術(shù),激光,芯片制造,雙光束超分辨設(shè)備    瀏覽量:6873

聲明:凡本網(wǎng)注明"來源:儀商網(wǎng)"的所有作品,版權(quán)均屬于儀商網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編使用。
經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用,并注明"來源:儀商網(wǎng)"。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源的作品,歸原版權(quán)所有人所有。目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性,不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。如有作品的內(nèi)容、版權(quán)以及其它問題的,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載自其它媒體或授權(quán)刊載,如有作品內(nèi)容、版權(quán)以及其它問題的,請(qǐng)聯(lián)系我們。相關(guān)合作、投稿、轉(zhuǎn)載授權(quán)等事宜,請(qǐng)聯(lián)系本網(wǎng)。
QQ:2268148259、3050252122。


讓制造業(yè)不缺測(cè)試測(cè)量工程師

最新發(fā)布
行業(yè)動(dòng)態(tài)
市場(chǎng)觀察
國(guó)際資訊
儀商專題
按分類瀏覽
Copyright ? 2023- 861718.com All rights reserved 版權(quán)所有 ?廣州德祿訊信息科技有限公司
本站轉(zhuǎn)載或引用文章涉及版權(quán)問題請(qǐng)與我們聯(lián)系。電話:020-34224268 傳真: 020-34113782

粵公網(wǎng)安備 44010502000033號(hào)

粵ICP備16022018號(hào)-4
中国成熟妇女毛茸茸| 美女被c到爽哭视频网站| 国产精品99久久久久久人四虎| 亚洲国产婷婷香蕉久久久久久| 亚洲色偷偷色噜噜狠狠99网| 大肉蒂被嘬的好爽h娇门吟| 欧美疯狂做爰3xxx高清| 国产成人精品视频a片西瓜视频| 少妇被粗大猛进进出出s小说| 亚洲一区二区三区写真| 做床爱30分钟免费观看| 国产成人精品亚洲线观看| 精跪趴灌满白浊共妻np老师学生| 午夜情深深| 门卫老李干了校花高小柔| 男主骗女主帮她发育h| 久久变态刺激另类sm按摩| 国产综合精品一区二区三区| 久久妇女高潮喷水多长时间| 亚洲精品国产suv一区88| bl道具play珠串震珠强迫| 纯肉大根巨无霸纯黑胡椒火腿肠| 电影巜喂不饱的妻子| 快被强欲学长c晕了男男小说| 四个人客厅交换作爱| 人妻少妇偷人精品无码洋洋av| 久久久96人妻无码精品蜜桃| 美女18禁一区二区三区视频| 夫妻那些事全集免费观看电视剧| 日韩视频在线观看| 被少妇滋润了一夜爽爽爽| 国产一区二区精品丝袜| 破外女13一14在线观看| 阿公抱着我边摸边吃奶视频| 国产成人久久一区二区不卡三区| 国产99久久久国产精品潘金莲| 97高清视频在线观看免费| 无码人妻丰满熟妇区bbbbxxxx| 亚洲啪av永久无码精品放毛片| sao货撅起你的贱屁股来| 深田咏美av一区二区三区|