電鏡消像散電路（圖5）大致可分為輸入電路，控制板接口電路，計(jì)算機(jī)控制電路，計(jì)算機(jī)接口電路，數(shù)字鎖存及D/A轉(zhuǎn)換電路，比較自檢電路，消像散控制電路，消像散驅(qū)動(dòng)電路及消像散線圈等組成，其消像散線圈電流的變化是通過調(diào)節(jié)面板上的DFE X Y來控制的。重點(diǎn)在消像散控制電路系統(tǒng)。

【故障排除】：

消像散電路控制電路主要是控制消像散放大電路的輸入通道接受來自計(jì)算機(jī)的各種控制信號(hào)，并執(zhí)行這些信號(hào)以達(dá)到控制消像散線圈的目的。消像散驅(qū)動(dòng)電路主要是由差分放大電路組成，信號(hào)被功率放大直接驅(qū)動(dòng)消像散線圈。先在120KV加速電壓條件下，檢測(cè)消像散器及合軸用的各電源電壓，測(cè)TP10、TP12電壓為+5V，TP11、TP13為-5V。

再對(duì)數(shù)據(jù)鎖存及D/A轉(zhuǎn)換電路進(jìn)行檢測(cè)，旋轉(zhuǎn)控制面板上的SHIFT X順時(shí)針方向到底，然后再逆時(shí)針方向到底，分別對(duì)集成電路IC01A、IC02A、IC03A、IC7及DEF LENS ITF PB的IC3J（7407六緩沖器/驅(qū)動(dòng)器）測(cè)量，當(dāng)檢測(cè)到IC03J-8腳電位為0，9腳電位也為0，IC03J有問題，更換一塊7407集成塊，測(cè)量IC03J-8腳、9腳電位，調(diào)節(jié)OBJ STIG1鍵或OBJ STIG2鍵，變化范圍為X：+2.09V～-1.59V，Y：+1.84V～-1.85V，物鏡消像散電路恢復(fù)正常，故障排除。

圖6 JEM-2000EX電鏡消像散電路框圖

故障八（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)2～3秒內(nèi)自動(dòng)停機(jī)（圖6）。在2～3秒內(nèi)V15閥放氣，顯示機(jī)械泵已工作，V16閥打開，操作面板各鍵指示燈由暗到亮閃爍一下，然后恢復(fù)到常態(tài)。

【故障分析】：

出現(xiàn)開機(jī)2～3秒內(nèi)自動(dòng)停機(jī)的原因有如下幾個(gè)可能。

① 機(jī)械泵供電故障不能啟動(dòng)，引發(fā)停機(jī)。

② 冷卻水壓力不足，壓力繼電器不吸合，S1（RP）、S2（DP）觸點(diǎn)開路，造成停機(jī)。

③ 真空測(cè)量皮拉尼規(guī)插座松動(dòng)接觸不良，導(dǎo)致停機(jī)。

【故障排除】：

① 在PAGE-3上顯示V15閥亮，檢查PS UNIT F6指示燈亮，確認(rèn)機(jī)械泵供電電路保險(xiǎn)絲F6熔斷，機(jī)械泵不運(yùn)轉(zhuǎn)導(dǎo)致主機(jī)停機(jī)，更換保險(xiǎn)絲主機(jī)恢復(fù)正常。

② 測(cè)量真空系統(tǒng)電路板VAC SYSTEM PB插座CN12的N（RP）和A（DP）由電壓0V變?yōu)?V，說明冷卻水壓力不足，檢查進(jìn)水壓力偏低，導(dǎo)致停機(jī)。重新調(diào)節(jié)進(jìn)水壓力，停機(jī)故障排除。

③ 電鏡有四個(gè)皮拉尼規(guī)，其中任意一個(gè)插座接觸不良都有可能導(dǎo)致停機(jī)，檢測(cè)真空系統(tǒng)電路板VAC SYSTEM PB插座CN12對(duì)應(yīng)的16腳（PI-2）、18腳（PI-3）、19腳（PI-4）正常均為0V，測(cè)17腳（PI-1）為5V不正常，重新插好對(duì)應(yīng)PI-1真空規(guī)插座，測(cè)17腳為0V恢復(fù)正常，PI-1恢復(fù)數(shù)字顯示，停機(jī)故障排除。

故障九（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)30秒自動(dòng)停機(jī)。

【故障分析】：

機(jī)械泵，冷卻水壓力，皮拉尼規(guī)均正常，空壓機(jī)壓力是否≥3.2kg，程序進(jìn)入自檢異常和循環(huán)等待，無法繼續(xù)進(jìn)行而停機(jī)。保護(hù)性或意外因素導(dǎo)致停機(jī)。

【故障排除】：

① 檢測(cè)機(jī)械泵（RP）泵單元開關(guān)S1無輸出，檢查發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵空轉(zhuǎn)，不能抽氣，結(jié)果是皮帶常年運(yùn)行老化了，更換一新皮帶，機(jī)械泵恢復(fù)正常運(yùn)行，30秒鐘停機(jī)故障排除。

② 檢測(cè)VAC SYSTEM PB插座CN12的V腳（DP1）發(fā)現(xiàn)為高電平，擴(kuò)散泵沒有工作，檢查DP1供電電路保險(xiǎn)絲F8熔斷，更換保險(xiǎn)絲30秒停機(jī)故障排除。

圖7 JEM-2000EX電鏡開機(jī)真空系統(tǒng)工作流程圖

故障十（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)由工作狀態(tài)進(jìn)入停機(jī)。

【故障分析】：

電鏡在使用中突發(fā)性停機(jī)，大致有以下幾個(gè)原因。

① 人為因素造成停機(jī)。

② 市電掉電引起停電停機(jī)。

③ 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)故障引起停機(jī)。

【故障排除】：

① 人為誤操作，儀器在使用過程中操作者不慎，未按操作順序進(jìn)行關(guān)機(jī)，直接關(guān)閉穩(wěn)壓器電源或總電源開關(guān)。另外也有可能誤碰倒了鑰匙開關(guān)，由NO轉(zhuǎn)到了OFF位置，造成人為關(guān)機(jī)。

② 市電停電引起的整機(jī)停機(jī)，整機(jī)停機(jī)后，應(yīng)及時(shí)將各調(diào)節(jié)旋鈕和相應(yīng)開關(guān)恢復(fù)到初始狀態(tài)，停機(jī)休息一段時(shí)間后。供電恢復(fù)電后，在各外圍設(shè)備無異常情況下，可以重新開機(jī)恢復(fù)正常運(yùn)行。

③ 瞬時(shí)閃停造成的停機(jī)，瞬時(shí)閃停表現(xiàn)為照明燈瞬時(shí)閃爍，高壓丟失，束電流歸零，各別閥門動(dòng)作紊亂，V15閥自動(dòng)打開放氣，機(jī)械泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)等，嚴(yán)重時(shí)對(duì)儀器的某些部件會(huì)造成損壞。對(duì)于發(fā)生整機(jī)停機(jī)可以重新開機(jī)即可。對(duì)于部分停機(jī)（死機(jī)狀態(tài)）如計(jì)算機(jī)軟件程序中斷停機(jī)，可重啟計(jì)算機(jī)執(zhí)行完程序后，進(jìn)行二次開機(jī)，在開機(jī)過程中要隨時(shí)注意儀器運(yùn)行狀態(tài)，如有異常及時(shí)檢查并維修儀器。