1、檢查高壓箱內(nèi)電路，拆除高壓電纜，用示波器檢測TM7端子（圖4）波形穩(wěn)定性，加速電壓增加過程中，暗電流基本變化符合標稱值，反復升壓降壓持續(xù)一段時間，均未發(fā)現(xiàn)電子束閃動和暗電流增加情況，基本排除高壓箱內(nèi)部放電故障。

2、檢查電子槍系統(tǒng)，先更換新燈絲，對燈絲架和文氏帽進行清洗，重新安裝。檢查發(fā)現(xiàn)高壓電纜與電子槍外殼接觸端部表面有放電痕跡，將放電痕跡清洗并清除掉，并在端部表面均勻涂敷絕緣硅膠。電子槍安裝后復原后，開機升壓電子束仍然不穩(wěn)。繼續(xù)檢查電子槍其他部件，檢查到電子槍導入部和燈絲交換部發(fā)現(xiàn)表面有污漬，并伴有放電現(xiàn)燒焦狀。

將電子槍固定座拔出后發(fā)現(xiàn)外表導電膠固化不均勻，且發(fā)現(xiàn)有粉末狀附著物。將放電污漬及粉末徹底清洗，將電子槍固定座重新涂敷導電膠后，重新安裝電子槍。將離子泵和鏡筒烘烤完畢后，升壓至80KV暗電流仍偏大，20分鐘后電子束發(fā)生閃動。

3、檢查加速管電路，用兆歐表測的加速管分壓電阻為500MΩ～600MΩ（正常為800MΩ）偏低，更換新分壓電阻。繼續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)電子槍引入高壓電纜的接線柱絕緣子上有放電痕跡，將放電痕跡清除掉，再將電子槍重新裝配好。開機抽真空，加電壓，并觀察暗電流變化，80KV加束流未發(fā)生電子束閃動，100KV也未發(fā)生電子束閃動，且暗電流均為正常。工作一段時間后未發(fā)現(xiàn)異常，升壓至180KV工作正常，未出現(xiàn)閃動現(xiàn)象。由此證明，電鏡電子束閃動故障已排除。

小結(jié)：經(jīng)更換燈絲及分壓電阻，并徹底清洗了高壓電纜相關部件的放電痕跡，排除了故障。分析原因暗電流增加是加速管分壓電阻減小所致，系統(tǒng)多處放電是造成閃動的禍根。

圖5 JEM-2000EX高壓箱部分電路（TM7高壓端子）示意圖

故障十（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡在170KV狀態(tài)下正常，在降至160KV（未關閉電子束）過程中，聽到高壓方向有一響聲，隨即束流下降至19μA（正常為80μA），顯示屏顯示為160KV，立即停機。休息一段時間后，重新開機，從20KV開始升至40KV，束流指示從10μA升至19μA，過程穩(wěn)定，繼續(xù)升高壓，束流指示不再發(fā)生變化。

【故障分析】：

結(jié)合電路分析，故障可能出現(xiàn)的部位有計算機控制系統(tǒng)，束流測試系統(tǒng)，高壓發(fā)生器系統(tǒng)。

【故障排除】：

1、計算機控制系統(tǒng)，計算機熒光屏顯示高壓值隨升壓開關波動而升高，但實際上計算機控制給出的振蕩系統(tǒng)的電壓并未升高，用萬用表測量計算機設定值電路板HT STAB PB的TM4（MT ES）對地電壓，每升高2KV，該點電壓呈線性比例對應升高0.15V，說明計算機高壓值設置系統(tǒng)工作正常。

2、束流測試系統(tǒng)，計算機控制輸出電壓受高壓箱內(nèi)反饋電壓作用并輸送給高壓發(fā)生器，高壓發(fā)生器振蕩電壓送至高壓箱內(nèi)變壓器。用萬用表測高壓發(fā)生器電路板HT OSC PB的HT PS點對地電壓，從20KV到40KV升高過程正常，繼續(xù)升高計算機顯示屏顯示電壓918V不再升高。拔下高壓電纜和反饋線后轉(zhuǎn)換開關S1至手動方式M（正常為自動方式A）重新測量，結(jié)果電壓不再受反饋信號作用，可以正常升高，說明束流測試系統(tǒng)正常，高壓供電電壓正常。

3、高壓發(fā)生器系統(tǒng)，打開高壓箱檢查高壓箱內(nèi)RC濾波部件正常，用兆歐表逐個檢查高壓變壓器輸出倍壓整流高壓硅堆，發(fā)現(xiàn)最高一級的一只高壓硅堆參數(shù)不穩(wěn)定，同時發(fā)現(xiàn)高壓箱內(nèi)有放電斑點，證實故障可能在高壓箱內(nèi)。更換一只新高壓硅堆，并清除掉放電斑點，再用石油醚將高壓箱內(nèi)不徹底清洗一遍，烘干充入氟利昂保護氣，開機電鏡恢復正常運行。

小結(jié)：打開高壓箱要慎重，高壓箱一般情況下盡量不要打開，非要打開時一定要按操作規(guī)程進行操作，注意操作安全，絕對保持高壓箱內(nèi)清潔，工作環(huán)境要做好防塵和除塵處理。

5、其他系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

儀器在正常觀察中，由于天氣打雷閃電引起突然停電，再開機時發(fā)現(xiàn)打印機不停輸送打印紙，其他均未發(fā)現(xiàn)異常。

【故障分析】：

從故障現(xiàn)象看，故障在打印機系統(tǒng)，或打印機相關的驅(qū)動電路及打印機街口單元。按下鍵盤打印鍵，打印功能完全顯示在顯示屏上，由此判斷電鏡打印功能是正常的。

【故障排除】：

關閉打印機接口電路板的電源，打印機仍然不停地送紙，從而判斷故障出在打印機本身，故障發(fā)生在打印機驅(qū)動電路板（PTR DRVER PB），通過對電路的分析，故障極有可能出現(xiàn)在馬達驅(qū)動電路上，而馬達驅(qū)動電路又由三個三極管TR15、TR16、TR17（2SA1051）組成。用萬用表分別測量三個三極管，結(jié)果發(fā)現(xiàn)TR17的CE間被擊穿短路，由于無同型號三極管，故用2SA733替換2SA1051更換后，打印機恢復正常功能，故障排除。

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：