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超高精度大口徑絕對面形光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量關(guān)鍵技術(shù)及儀器|上海市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)


  來源: 上??萍? 時(shí)間:2024-12-16 編輯:清風(fēng)
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450/100mm大口徑激光干涉儀采用雙光路系統(tǒng)設(shè)計(jì),既能使用100mm通光口徑滿足中小尺寸光學(xué)元件的檢測需求,又能使用450mm通光口徑實(shí)現(xiàn)大尺寸光學(xué)平面面形檢測的需要。一體式光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)能使儀器光學(xué)系統(tǒng)像差最小化、裝調(diào)簡單、方便操作,提高測量精準(zhǔn)度,適用于高精度的大口徑光學(xué)檢測。


本項(xiàng)目經(jīng)中國儀器儀表學(xué)會(huì)和中國計(jì)量測試學(xué)會(huì)組織的項(xiàng)目科技成果鑒定會(huì)鑒定,形成鑒定結(jié)論:“本項(xiàng)目總體技術(shù)達(dá)到了國際先進(jìn)水平,核心技術(shù)指標(biāo)PV值測量準(zhǔn)確度和RMS測量重復(fù)性達(dá)到國際領(lǐng)先水平?!?


項(xiàng)目知識產(chǎn)權(quán)包括發(fā)明專利18項(xiàng)、實(shí)用新型專利17項(xiàng),學(xué)術(shù)論文152篇,論文文集21部,軟件著作權(quán)5項(xiàng),主要起草和參與起草平面相移干涉儀國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、平晶檢定規(guī)程和數(shù)字式球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范、大尺寸平面平晶檢定規(guī)程等標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范19項(xiàng)。


項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了超高精度數(shù)字化激光干涉儀的工程化和產(chǎn)業(yè)化,創(chuàng)新成果創(chuàng)制的系列儀器設(shè)備被廣泛應(yīng)用在國家級計(jì)量機(jī)構(gòu)、科研院所、大科學(xué)裝置、高端工業(yè)檢測等領(lǐng)域中, 創(chuàng)造了上億元直接和間接經(jīng)濟(jì)效益,帶動(dòng)了國內(nèi)相關(guān)上市企業(yè)的產(chǎn)值,減少了計(jì)量單位和科研高效的科研成本,滿足國家重大科研工程中的高精密光學(xué)元件測量需求,拉動(dòng)上下游行業(yè)發(fā)展,促進(jìn)光電產(chǎn)品更新?lián)Q代,提高市場競爭能力。推動(dòng)了企業(yè)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化和中國品牌建設(shè)的發(fā)展,獲得了高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì)、獲得ISO質(zhì)量管理體系和“蘇州制造”品牌認(rèn)證。促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作,成立了三個(gè)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,培養(yǎng)博士后2名,博士研究生7名,碩士研究生55名,以技術(shù)研發(fā)和人才培養(yǎng)培訓(xùn)為目標(biāo),不斷開發(fā)新技術(shù)、推廣新工藝、推出新產(chǎn)品。促進(jìn)了高端光電儀器國產(chǎn)化,打破了國外技術(shù)封鎖和壟斷,助推了國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量行業(yè)科技進(jìn)步。推動(dòng)我國向精密光學(xué)強(qiáng)國邁進(jìn)。


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