（天津大學精密儀器與光電子工程學院）

建有精密測試技術及儀器國家重點實驗室、光電信息技術教育部重點實驗室、微光機電系統(tǒng)技術教育部重點實驗室、天津市生物醫(yī)學檢測技術與儀器重點實驗室、微納制造與測量技術教育部工程研究中心、天津市微納制造技術工程中心、天津市集成光電子技術與器件重點實驗室、天津市智能化精密測量技術工程中心、天津市智能人機交互康復工程技術中心、微米/納米科學與技術創(chuàng)新引智基地、光纖傳感與通訊引智基地等研究基地。

官網(wǎng)：

http://jyxy.tju.edu.cn/cn/

3、北京大學電子學系

主要研究方向：光纖傳感器、MEMS傳感器

主要研究院系：信息科學技術學院，微納電子學研究院

主要研究單位：微納電子學研究院、區(qū)域光纖通信網(wǎng)與新型光通信系統(tǒng)國家重點實驗室等

微納電子學研究院目前已發(fā)展成為我國最好的微納電子科技研究與教育基地之一，多種CMOS和硅基MEMS標準工藝滿足科研代工和人才培養(yǎng)需求，重復可靠的基礎工藝支持各類器件芯片研制，保證CMOS-MEMS集成化工藝研發(fā)。

區(qū)域光纖通信網(wǎng)與新型光通信系統(tǒng)國家重點實驗室重點研究光纖及光子傳感的基礎理論、器件原理及信號處理方法，圍繞地磁場探測、地殼應變探測等，深入開展光泵原子磁力儀、高精度光纖傳感、低成本高精度光纖陀螺、超高速光信號處理等方面的研究。

研究院下屬集成微納系統(tǒng)研究所(MEMS)，擁有完整的微米/納米加工工藝線，具備可同時開展MOS、硅基MEMS和集成化工藝技術研究的實驗環(huán)境，研究內(nèi)容包括MEMS陀螺儀、加速度計、射頻器件、光學器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS為基礎，開發(fā)了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技術。

主要研究團隊：

王陽元院士：北京大學信息科學技術學院教授(1985年)、微電子學研究院首席科學家，主要從事微電子學領域中新器件、新工藝和新結構電路的研究。

黃如院士：北京大學信息科學技術學院教授，主要從事半導體新器件及其應用研究。

吳文剛教授：主要研究MEMS光開關陣列等器件。

張海霞教授：主要研究深槽刻蝕微納加工、SiC MEMS及能源MEMS等技術。

金玉豐教授：主要從事微系統(tǒng)集成封裝、MEMS傳感器等方向的研究。

于曉梅教授：主要研究MEMS非制冷紅外成像技術及太赫茲探測技術等。

官網(wǎng)：https://ofcl.pku.edu.cn/

4、西安交通大學機械工程學院

主要研方向：壓力傳感器、加速度傳感器、MEMS傳感器

主要研究單位：精密工程研究所微型機械電子系統(tǒng)研究中心、陜西省微型機械電子系統(tǒng)（MEMS）研究中心、機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室

建有“微納制造與納米測試技術”高等學校學科創(chuàng)新引智基地、“微納制造與測試技術”國際合作聯(lián)合實驗室、陜西省微型機械電子系統(tǒng)（MEMS）研究中心、陜西省微納傳感器工程技術研究中心。研究所研究方向包括：微納機械電子系統(tǒng)與微納米測試技術、微納制造與先進傳感技術、超精密加工技術與裝備、精密測量技術與儀器、生物制造與儀器等。

主要研究團隊：

蔣莊德院士：長期從事微納制造與先進傳感技術、精密超精密加工與測試技術及裝備等方面的研究。

趙玉龍教授：主要從事MEMS傳感器及微納制造理論和應用研究。

官網(wǎng)：

http://mec.xjtu.edu.cn/info/1006/6958.htm

5、東南大學電子與工程學院

主要研究方向：MEMS傳感器

主要研究單位：MEMS教育部重點實驗室