大學(xué)是國(guó)家科研的中堅(jiān)力量，對(duì)先進(jìn)技術(shù)的開(kāi)發(fā)，培養(yǎng)相關(guān)領(lǐng)域的人才有著重要貢獻(xiàn)。傳感器、芯片等半導(dǎo)體重要卡脖子技術(shù)領(lǐng)域，相關(guān)大學(xué)的研發(fā)力量更是舉足輕重，盤(pán)點(diǎn)當(dāng)今中國(guó)傳感器領(lǐng)域30所大學(xué)頂尖研發(fā)力量。

（圖片來(lái)源：清華大學(xué)精密儀器系宣傳片）

1、清華大學(xué)

主要研究方向：MEMS傳感器、智能傳感器、諧振式傳感器、力傳感器、生物化學(xué)傳感器、柔性傳感器、慣性傳感器等

主要研究院系：精密儀器系、信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院-集成電路學(xué)院

主要研究單位：精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)技術(shù)及儀器北京實(shí)驗(yàn)室、微納電子學(xué)研究所，微納器件與系統(tǒng)研究室等

清華大學(xué)精密儀器系淵源于1932年成立的清華大學(xué)工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)系，1959年增設(shè)精密儀器專(zhuān)業(yè)，1960年正式成立精密儀器及機(jī)械制造系，1971年始改精密儀器系，下設(shè)光電所、測(cè)試、傳感器、微機(jī)械、微細(xì)工程、導(dǎo)航中心、激光室等單位。

（圖片來(lái)源：清華大學(xué)精密儀器系宣傳片）

清華大學(xué)精密儀器系建有精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、光盤(pán)國(guó)家工程研究中心、智能微系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、高精度導(dǎo)航技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、光子測(cè)控技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、生物醫(yī)學(xué)檢測(cè)技術(shù)及儀器北京實(shí)驗(yàn)室、微米納米技術(shù)研究中心、清華大學(xué)宇航技術(shù)研究中心、清華大學(xué)質(zhì)譜儀器研究中心、清華大學(xué)類(lèi)腦計(jì)算研究中心，以及國(guó)家級(jí)示范教學(xué)基地等多個(gè)教學(xué)科研機(jī)構(gòu)，是全國(guó)國(guó)家級(jí)教學(xué)科研機(jī)構(gòu)最多的院系之一。

（圖片來(lái)源：清華大學(xué)精密儀器系宣傳片）

此外，清華大學(xué)具有微米/納米技術(shù)研究中心和電子封裝技術(shù)研究中心，具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備，以及鐵電/壓電、磁電子等新型材料、器件的工藝加工條件。在疊層芯片技術(shù)、系統(tǒng)級(jí)封裝、MEMS封裝等方面都有較高水平。

（圖片來(lái)源：清華大學(xué)精密儀器系宣傳片）

主要研究團(tuán)隊(duì)：

陳煒教授（長(zhǎng)江學(xué)者）：集成電路學(xué)院微納器件與系統(tǒng)研究室主任，清華大學(xué)“百人計(jì)劃”特聘教授。

任天令教授（長(zhǎng)江學(xué)者）：主要研究方向?yàn)橹悄芪⒓{電子器件、芯片與系統(tǒng)，如智能傳感器與智能集成系統(tǒng)、可穿戴器件與系統(tǒng)，其中也包括微納聲學(xué)器件與系統(tǒng)（音頻、超聲影像等）和集成微傳感器等。

劉澤文教授主要從事射頻和微波MEMS器件。

王喆垚教授從事生物MEMS傳感器研究。

王曉紅教授主要從事能源MEMS研究。

官網(wǎng)：

https://www.dpi.tsinghua.edu.cn/

2、天津大學(xué)精密儀器與光電子學(xué)院

主要研究方向：光纖傳感器

主要研究單位：光電信息技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院(簡(jiǎn)稱(chēng)精儀學(xué)院)的前身是成立于1952年的精密機(jī)械儀器專(zhuān)業(yè)。1959年成立精密儀器工程系，1995年10月2日在原精密儀器工程系基礎(chǔ)上成立了精密儀器與光電子工程學(xué)院，下設(shè)四個(gè)系：精密儀器工程系、光電信息工程系、光電子科學(xué)技術(shù)系、生物醫(yī)學(xué)工程與科學(xué)儀器系。