（2）汽車MEMS傳感器分類

汽車MEMS傳感器主要包括以下種類：

車身感知:壓力傳感器

將壓力信號轉換為電信號的汽車壓力傳感器主要分為電容式和電阻式兩類。壓力傳感器是能夠感受壓力信號，并將壓力信號轉換成可用的電信號的裝置。根據壓敏元件的主流技術原理的不同，汽車壓力傳感器主要分為電容式壓力傳感器和電阻式壓力傳感器，通常應用于發(fā)動機的進氣歧管處、檢測大氣壓力變化、檢測渦輪增壓機的增壓壓力、檢測懸架系統(tǒng)的油壓、實時檢測輪胎壓力、測量氣缸內混合氣燃燒壓力等。

車身感知:位置傳感器

位置傳感器是測量元件運轉或運動所處位置的裝置。汽車位置傳感器的工作原理主要有霍爾效應、磁電阻效應、光電式、電容式、電熱式五種。根據用途不同可分為曲軸位置傳感器、節(jié)氣門位置傳感器、車高與轉角位置傳感器、液位傳感器、方位傳感器、座椅位置傳感器等。

車身感知:汽車溫度傳感器

溫度傳感器：汽車上應用最廣泛的溫度傳感器是熱敏電阻式溫度傳感器。汽車溫度傳感器將溫度信號轉化為可用輸出信號，按照工作原理可分為熱敏電阻式、熱電偶式、熱敏鐵氧體式，其中熱敏電阻式溫度傳感器應用最為廣泛。根據應用場景的不同熱敏電阻式溫度傳感器可分為進氣溫度傳感器、冷卻液溫度傳感器、車內外溫度傳感器、 蒸發(fā)器出口溫度傳感器、排氣溫度傳感器等。

車身感知:汽車慣性傳感器

慣性傳感器是用于測量物體在慣性空間中運動參數的裝置。根據運動是否呈線性的工作原理，慣性傳感器分為線加速度傳感器和角加速度傳感器兩類；按測量軸數量分為單軸、雙軸、三軸加速度傳感器。將線加速度傳感器、角加速度傳感器與其他測量元件組合搭配可以滿足汽車安全控制及導航系統(tǒng)的需求，具體應用包括汽車安全氣囊、ABS防抱死剎車系統(tǒng)、電子穩(wěn)定程序（ESP）、電控懸掛系統(tǒng)等。

（線）加速度傳感器：線加速度傳感器又稱加速度傳感器，是通過測量傳感器內部的慣性力并計算加速度數據的裝置。按照工作原理的不同加速度傳感器可分為交流響應型和直流響應型。交流加速度傳感器的感測機構通常使用壓電元件，分為電壓輸出式壓電傳感器和電荷輸出式壓電傳感器；直流加速度傳感器根據感測技術的不同可分為電容式和壓阻式。

角（加）速度傳感器：角加速度傳感器又稱角速度傳感器，實質是陀螺儀。陀螺儀是利用動量矩（自轉轉子產生）敏感殼體相對慣性空間繞正交于自轉軸的一個或兩個軸的角運動檢測裝置，可與加速度計共同構成慣性導航系統(tǒng)，是決定慣性導航系統(tǒng)精度的主要因素。

車身感知:空氣流量傳感器

空氣流量傳感器又稱空氣體流量計，可用于檢測發(fā)動機進氣量大小，是電噴發(fā)動機最重要的傳感器之一?？諝饬髁總鞲衅魍ǔ０惭b在進氣管上，將進氣量信號轉化為電信號傳遞給ECU，以供ECU確定噴油量和點火時間。對汽油噴射發(fā)動機進行電子調節(jié)，使其在各種旋轉條件下基本都能獲得最佳濃度的混合氣，需要測量每時每刻吸入發(fā)動機的空氣量，作為ECU計算（調節(jié)）噴油量的關鍵依據。如果空氣流量傳感器或電路出現故障，ECU得不到良好的進氣信號，就無法適當調整噴油量，會造成混合氣過濃或過稀，使發(fā)動機轉動異常，甚至會造成零部件損壞?？諝饬髁總鞲衅鞣譃轶w積式和質量式，其中體積式包括葉片式、卡門渦街式、量芯式， 質量式包括熱線式、熱模式。

車身感知:氣體傳感器