3)加強(qiáng)研發(fā)創(chuàng)新
在半導(dǎo)體顯微鏡技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新上，我國近年來也取得不少的成績。2020年6月，中科院合肥研究院成功研制混合磁體極端條件下原子分辨掃描隧道顯微鏡(STM)。
此工作為利用混合磁體搭配STM開展原子分辨成像研究鋪平了道路，對于突破當(dāng)前超強(qiáng)磁場下只能開展輸運(yùn)等宏觀平均效果測量之瓶頸，進(jìn)入到廣闊的物性微觀起源探索領(lǐng)域，具有標(biāo)志性意義。
5、中國半導(dǎo)體顯微鏡市場規(guī)模有望進(jìn)一步擴(kuò)大
晶圓生產(chǎn)附加值極高，因此不允許任何一道工序出現(xiàn)失誤，結(jié)構(gòu)隨著性能需求提高在不斷復(fù)雜化，檢測在半導(dǎo)體制造中的地位也在持續(xù)提高，顯微鏡是半導(dǎo)體檢測中最為重要的應(yīng)用設(shè)備之一。
未來，隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，顯微鏡在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用需求將會(huì)不斷擴(kuò)大，同時(shí)國產(chǎn)替代空間大。前瞻預(yù)測，2026年我國顯微鏡應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的市場規(guī)模有望突破30億元。
