氣電轉(zhuǎn)換器工作

圖6一電感測微儀工作原理方框圖氣電組合測t儀具有許多優(yōu)點。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號穩(wěn)定性為2微米/8小時，測量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批量生產(chǎn)測量，又適用于刁嗽t生產(chǎn)測量。但氣電組合量儀的價格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量儀將會被廣泛應(yīng)用.時，氣流經(jīng)過濾器和穩(wěn)壓器形成清潔穩(wěn)定的壓縮空氣流送入氣電轉(zhuǎn)換器內(nèi)(如圖5中箭頭所示)，進入的氣流分為兩路，一路經(jīng)噴嘴l進人波紋管3的內(nèi)腔，經(jīng)由排氣噴嘴7排入大氣中;另一路經(jīng)進氣噴嘴2進人波紋管3的外腔，從測量噴嘴6噴出。由于工件被測尺寸的變化，測量噴嘴與工件之間的間隙也發(fā)生變化，從而改變了波紋管3內(nèi)外腔原來調(diào)定的空氣壓力差，使波紋管3沿軸向產(chǎn)生伸縮，并帶動磁芯4位移，使感應(yīng)線圈5中的電感量發(fā)生變化，電感量的變化被送到電感測微儀中。由于波紋管在氣壓微小變化的作用下也會產(chǎn)生伸縮，因此測量靈敏度高，測量精度也高。

為了將電感量的變化進行邏輯運算處理，并將處理結(jié)果用數(shù)字顯示出來，氣電組合量儀將兩個氣電轉(zhuǎn)換器的電信號輸出端同時接入一個數(shù)顯電感測微儀輸入端中運算處理，由儀器將測量結(jié)果用數(shù)字顯示出來。電感測微儀工作原理方框圖如圖6所示。

氣電組合測量儀具有許多優(yōu)點。其最小尺寸分辮率為0.1微米，信號穩(wěn)定性為2微米/8小時，測量性能可靠，操作使用方便，適用范圍廣，既適用于大批t生產(chǎn)測量，又適用于小批量生產(chǎn)測量。但氣電組合量儀的價格較貴，所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測量中.可以相信，隨著我國電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測量具工業(yè)的發(fā)展，這種氣電組合量儀將會被廣泛應(yīng)用.