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關(guān)于氣電組合測(cè)量技術(shù)


時(shí)間:2016-01-29 作者:五五
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氣電轉(zhuǎn)換器工作

6一電感測(cè)微儀工作原理方框圖氣電組合測(cè)t儀具有許多優(yōu)點(diǎn)。其最小尺寸分辮率為0.1微米,信號(hào)穩(wěn)定性為2微米/8小時(shí),測(cè)量性能可靠,操作使用方便,適用范圍廣,既適用于大批量生產(chǎn)測(cè)量,又適用于刁嗽t生產(chǎn)測(cè)量。但氣電組合量?jī)x的價(jià)格較貴,所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測(cè)量中.可以相信,隨著我國(guó)電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測(cè)量具工業(yè)的發(fā)展,這種氣電組合量?jī)x將會(huì)被廣泛應(yīng)用.時(shí),氣流經(jīng)過(guò)濾器和穩(wěn)壓器形成清潔穩(wěn)定的壓縮空氣流送入氣電轉(zhuǎn)換器內(nèi)(如圖5中箭頭所示),進(jìn)入的氣流分為兩路,一路經(jīng)噴嘴l進(jìn)人波紋管3的內(nèi)腔,經(jīng)由排氣噴嘴7排入大氣中;另一路經(jīng)進(jìn)氣噴嘴2進(jìn)人波紋管3的外腔,從測(cè)量噴嘴6噴出。由于工件被測(cè)尺寸的變化,測(cè)量噴嘴與工件之間的間隙也發(fā)生變化,從而改變了波紋管3內(nèi)外腔原來(lái)調(diào)定的空氣壓力差,使波紋管3沿軸向產(chǎn)生伸縮,并帶動(dòng)磁芯4位移,使感應(yīng)線圈5中的電感量發(fā)生變化,電感量的變化被送到電感測(cè)微儀中。由于波紋管在氣壓微小變化的作用下也會(huì)產(chǎn)生伸縮,因此測(cè)量靈敏度高,測(cè)量精度也高。

為了將電感量的變化進(jìn)行邏輯運(yùn)算處理,并將處理結(jié)果用數(shù)字顯示出來(lái),氣電組合量?jī)x將兩個(gè)氣電轉(zhuǎn)換器的電信號(hào)輸出端同時(shí)接入一個(gè)數(shù)顯電感測(cè)微儀輸入端中運(yùn)算處理,由儀器將測(cè)量結(jié)果用數(shù)字顯示出來(lái)。電感測(cè)微儀工作原理方框圖如圖6所示。


氣電組合測(cè)量?jī)x具有許多優(yōu)點(diǎn)。其最小尺寸分辮率為0.1微米,信號(hào)穩(wěn)定性為2微米/8小時(shí),測(cè)量性能可靠,操作使用方便,適用范圍廣,既適用于大批t生產(chǎn)測(cè)量,又適用于小批量生產(chǎn)測(cè)量。但氣電組合量?jī)x的價(jià)格較貴,所以目前主要使用在成批生產(chǎn)的測(cè)量中.可以相信,隨著我國(guó)電子工業(yè)、電子儀表制造業(yè)和檢測(cè)量具工業(yè)的發(fā)展,這種氣電組合量?jī)x將會(huì)被廣泛應(yīng)用.

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