中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進工業(yè)領域實現(xiàn)自主可控和升級換代提供核心關鍵產品。

“高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機械、材料、熱學、力學、化學等多學科的復雜交互融合，涵蓋基礎理論、設計、工藝制程、封裝測試、設備裝備等多個產業(yè)鏈環(huán)節(jié)”。704所相關項目負責人介紹。

萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術指標比傳統(tǒng)應變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個數(shù)量級，且具有數(shù)字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優(yōu)點，技術指標、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應性均達到國際先進水平。目前，該產品已應用于航天發(fā)動機壓力監(jiān)測、航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)等領域。

從航天航空應用到民用市場全面拓展。704所大力推進萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器在海洋、氣象、計量校準、過程工業(yè)、石油化工、能源等行業(yè)的產業(yè)化應用。目前，萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器已應用于海洋監(jiān)測、氣象觀測等領域，為實現(xiàn)航天技術產業(yè)價值奠定了扎實的基礎。

后續(xù)，704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術，進一步開發(fā)高端儀器和感知測量系統(tǒng)，形成“芯片+傳感器+儀器+系統(tǒng)”的信息感知模式，推進產品譜系化、規(guī)模化、產業(yè)化發(fā)展。