乳夹 震动 走绳play 调教,国产真实乱人偷精品人妻,亚洲精品在线观看,人妻av无码专区久久绿巨人

 
當前位置: 首頁 » 技術方案 » 前沿科技 » 正文

日本學者利用MEMS懸臂梁制造等離子體近紅外光譜儀


  來源: MEMS 時間:2020-03-17 編輯:清風
分享到:

?

近紅外光譜可為物質(zhì)提供特有的吸收光譜,從而使鑒別氣體種類成為可能。因此,需要利用小型化光譜儀實現(xiàn)緊湊型氣體傳感器,從而監(jiān)測生活空間的空氣質(zhì)量。


然而,傳統(tǒng)近紅外光譜儀均是利用光柵將入射光分散至不同波長,因此需要較長的光程,這便是傳統(tǒng)光譜儀小型化的障礙。


等離子體光電探測器則具有許多特性,如改善光電探測靈敏度、特定光探測的波長或偏振、硅材料的紅外光探測能力等,因而得到了廣泛的研究。而等離子體結構通常非常?。ū≈?00nm),因此無需通過犧牲光電探測器的緊湊性來實現(xiàn)這些功能。


近日,日本電氣通信大學(University of Electro-Communications)的Oshita Masaaki和Kan Tetsuo與其合作者共同在MEMS可形變懸臂梁上開發(fā)了一款基于金(Au)衍射光柵的等離子體光電探測器。



圖1 帶有金衍射光柵的MEMS懸臂梁示意圖


該研究主要針對MEMS可重構等離子體光電探測器。如圖1(a)所示,在N型硅(n-Si)懸臂梁上制造等離子體金衍射光柵,并集成到MEMS角度掃描器上。當橫磁波(TM)偏振近紅外光以入射角θ射入光柵,滿足表面等離子體共振(SPR)耦合條件(即入射角和波長)時,即可在光柵上產(chǎn)生SPR。


入射光則被光柵表面吸收成為SPR,并激發(fā)了金層中的自由電子。在金與n-Si之間形成肖特基勢壘,當這些電子克服肖特基勢壘時,SPR可以轉換為光電流I(θ),從而實現(xiàn)了基于SPR的光電探測。


此外,由于懸臂梁可偏轉,因此可以通過外部驅動力改變傾斜懸臂梁,引起光入射角θ的變化,從而重構SPR匹配條件和光電探測特性。同時采用兩個鋸齒形懸臂腳來減小剛度,以增加入射角的變化幅度。




圖2 器件設計概述:(a)懸臂梁的尺寸;(b)光柵的尺寸;(c, d)在主諧振機械頻率和次諧振機械頻率下的懸臂梁機械變形的有限元模擬結果;(e)器件照片;(f)光柵的SEM圖片。


綜上所述,該器件采用n-Si體硅微加工技術制造。利用金衍射光柵激發(fā)表面等離子體(SP)。當光射入器件時,懸臂梁的機械振動會動態(tài)地改變光的入射角度,從而改變表面等離子體的耦合條件。耦合SPR后,光能就被轉換成器件中的電流。



圖3 懸臂梁的機械諧振特性


懸臂梁在-21?至21?的角度間掃描,通過分析電流隨時間的變化,可實現(xiàn)對近紅外光中光譜的數(shù)值反演。實現(xiàn)高度小型化的近紅外光譜儀,就有望開發(fā)新型的小型物聯(lián)網(wǎng)(IoT)傳感器。


該研究已于2020年2月4日發(fā)表在ACS Photonics上,題目為“Reconfigurable Surface Plasmon Resonance Photodetector with a MEMS Deformable Cantilever”,論文地址為:https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsphotonics.9b01510。


關鍵詞:MEMS 等離子 近紅外光譜儀    瀏覽量:2165

聲明:凡本網(wǎng)注明"來源:儀商網(wǎng)"的所有作品,版權均屬于儀商網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編使用。
經(jīng)本網(wǎng)授權使用,并注明"來源:儀商網(wǎng)"。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
本網(wǎng)轉載并注明自其它來源的作品,歸原版權所有人所有。目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或證實其內(nèi)容的真實性,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。如有作品的內(nèi)容、版權以及其它問題的,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。
本網(wǎng)轉載自其它媒體或授權刊載,如有作品內(nèi)容、版權以及其它問題的,請聯(lián)系我們。相關合作、投稿、轉載授權等事宜,請聯(lián)系本網(wǎng)。
QQ:2268148259、3050252122。


讓制造業(yè)不缺測試測量工程師

最新發(fā)布
行業(yè)動態(tài)
技術方案
國際資訊
儀商專題
按分類瀏覽
Copyright ? 2023- 861718.com All rights reserved 版權所有 ?廣州德祿訊信息科技有限公司
本站轉載或引用文章涉及版權問題請與我們聯(lián)系。電話:020-34224268 傳真: 020-34113782

粵公網(wǎng)安備 44010502000033號

粵ICP備16022018號-4
夜色88v精品国产亚洲av| 被黑人姿势猛到抽搐视频| a片在线观看免费| 一本色道久久综合亚洲精品| 成人性做爰AAA片免费看| 色综合久久88色综合天天| 亚洲一区二区观看播放| 国产精品永久久久久久久久久| 全部删除看过的历史记录| 少妇被躁爽到高潮无码人狍大战| 国产特黄级aaaaa片免| 少妇被躁爽到高潮无码人狍大战| 性色做爰片在线观看ww| 浴室人妻的情欲hd三级国产| 老太bbw搡bbbb搡bbbb| 无码人妻丰满熟妇啪啪欧美| 午夜精品久久久久久| 我的漂亮女房东完整版在线韩剧| 秋霞影视欧美高清av片| 日本sm/羞辱/调教/捆绑视频| 女仆穿白丝裸体吃奶玩乳视频| 又大又粗又长又猛a片蜜桃| 国产精品天天看天天做夜夜爽| 高清视频在线观看| 久久变态刺激另类sm| 王妃暗卫肉h共妻大肉| 乡下人产国偷v产偷v自拍| 黑人与白人做爰 magnet| 久久精品国产亚洲av无码娇色| 久久综合狠狠综合久久综合88| 欧美老熟妇xb水多毛多| 国产精品久久人妻无码网站仙踪林| 欧美成人精品a片免费一区99| 肉欲公车系500章| 色戒电影未删减完整版免费观看| 又大又粗又长又猛a片蜜桃| 久久久久久久精品无码av少妇| 最新国产の精品合集bt7086| 国产+日韩+另类| 唐三偷喝宁荣荣乳液污黄文| h双腿涨灌捆绑play慎入|