近日，科學(xué)技術(shù)部發(fā)布國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃 “制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2021年度項(xiàng)目申報(bào)指南。

“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)2021年度項(xiàng)目申報(bào)指南中明確提到，本重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)按照產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈的要求，從基礎(chǔ)前沿技術(shù)、共性關(guān)鍵技術(shù)、示范應(yīng)用三個(gè)層面，圍繞關(guān)鍵基礎(chǔ)件、基礎(chǔ)制造工藝、先進(jìn)傳感器、高端儀器儀表和基礎(chǔ)技術(shù)保障五個(gè)方向部署實(shí)施。

在2021年度擬啟動(dòng)項(xiàng)目研究方向中，與儀器儀表、傳感器相關(guān)的如下：

一、共性關(guān)鍵技術(shù)

1、滾動(dòng)軸承基礎(chǔ)物理參數(shù)檢測(cè)技術(shù)(青年科學(xué)家項(xiàng)目)

研究?jī)?nèi)容：研究滾動(dòng)軸承潤(rùn)滑性能檢測(cè)原理與技術(shù)；研究滾動(dòng)軸承旋轉(zhuǎn)組件溫度檢測(cè)原理與技術(shù)；研究滾動(dòng)軸承內(nèi)部游隙及受力狀態(tài)檢測(cè)原理與技術(shù)；開(kāi)展?jié)L動(dòng)軸承基礎(chǔ)物理參數(shù)檢測(cè)技術(shù)驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：研制出真實(shí)工況條件下軸承的油膜厚度與分布、旋轉(zhuǎn)組件溫度、軸承內(nèi)部游隙及受力狀態(tài)的檢測(cè)裝置；油膜厚度測(cè)量范圍0.1~300μm，分辨率優(yōu)于0.1μm；運(yùn)轉(zhuǎn)條件下軸承內(nèi)外套圈、保持架的溫度測(cè)量范圍 RT~180℃，精度優(yōu)于±0.5℃，測(cè)量轉(zhuǎn)速不低于30000r/min；運(yùn)行狀態(tài)下力測(cè)量范圍不小于軸承額定動(dòng)載荷的30%，精度優(yōu)于±1%FS；申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3項(xiàng)。

2、高性能液壓閥性能在線監(jiān)測(cè)與智能控制(青年科學(xué)家項(xiàng)目)

研究?jī)?nèi)容：研究液壓閥口的沖蝕磨損及閥芯卡滯機(jī)理與演化規(guī)律；建立多維融合感知的液壓閥性能衰退與預(yù)測(cè)模型；研究電液控制閥服役過(guò)程的實(shí)時(shí)補(bǔ)償技術(shù)，開(kāi)發(fā)具有性能監(jiān)測(cè)和故障診斷功能的可編程集成控制器；開(kāi)展相關(guān)試驗(yàn)驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：高可靠智能型電液控制閥樣機(jī)2種以上；控制精度<0.1%，典型故障檢測(cè)類(lèi)型≥5類(lèi)，識(shí)別率≥80%；具備IO-link總線通訊接口的位置軸控精度不低于1%FS；申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3項(xiàng)。

3、齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)多維信息感知及智能運(yùn)維(青年科學(xué)家項(xiàng)目)

研究?jī)?nèi)容：研究傳動(dòng)/感知/控制等深度融合的智能化齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)，探索傳動(dòng)系統(tǒng)全生命周期內(nèi)輪齒損傷(如點(diǎn)蝕、磨損、膠合、斷齒)、應(yīng)力、溫度、振動(dòng)等多維信息監(jiān)測(cè)新方法；研究齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)多維信息的故障自診斷及自適應(yīng)調(diào)控等智能運(yùn)維機(jī)制；研究齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)服役性能及殘余壽命的智能預(yù)測(cè)方法。

考核指標(biāo)：齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)智能感知及智能運(yùn)維驗(yàn)證系統(tǒng)1臺(tái)/套；具備傳動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)部應(yīng)力、溫度、振動(dòng)及輪齒損傷等監(jiān)測(cè)功能，監(jiān)測(cè)精度優(yōu)于5%；具備智能運(yùn)維功能，故障自診斷正確率不低于80%；申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3項(xiàng)。

4、基于二維材料的柔性應(yīng)變傳感器陣列(青年科學(xué)家項(xiàng)目)

研究?jī)?nèi)容：研究基于二維材料的柔性應(yīng)變傳感器敏感材料的性能調(diào)控方法和微觀機(jī)理；研究與微納加工、印刷工藝兼容的應(yīng)變敏感材料、傳感器結(jié)構(gòu)、可靠性及封裝技術(shù)，以及柔性應(yīng)變傳感器陣列的加工方法；在工業(yè)或人體表皮進(jìn)行長(zhǎng)期連續(xù)監(jiān)測(cè)驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：傳感器應(yīng)變系數(shù)≥500，拉伸性≥50%，最低檢測(cè)限≤0.08%，循環(huán)穩(wěn)定性≥50000次@5%應(yīng)變，響應(yīng)時(shí)間≤50ms；陣列性能離散性≤5%；研制應(yīng)變傳感可穿戴集成系統(tǒng)原型，申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3項(xiàng)，制定技術(shù)規(guī)范或標(biāo)準(zhǔn)≥1項(xiàng)。

5、高靈敏磁電阻傳感器(青年科學(xué)家項(xiàng)目)

研究?jī)?nèi)容：研究高靈敏磁電阻傳感器敏感材料、原理和結(jié)構(gòu)；研究低噪聲磁性多層膜結(jié)構(gòu)材料；研究磁電阻—微機(jī)電和磁電阻—超導(dǎo)一體化調(diào)制效應(yīng)的影響機(jī)理；研究高靈敏磁傳感器芯片制造工藝；研究傳感器的噪聲抑制、磁通匯聚、三維集成、封裝等關(guān)鍵技術(shù)；研究傳感器ASIC芯片設(shè)計(jì)；研制原型器件，并在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：磁傳感器靈敏度優(yōu)于200mV/V/Oe，量程≤±100μT，功耗≤100mW，本底噪聲≤1pT/Hz@1Hz；申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3項(xiàng)。

6、高靈敏MEMS三維電場(chǎng)傳感器(青年科學(xué)家項(xiàng)目)

研究?jī)?nèi)容：研究高靈敏MEMS三維電場(chǎng)傳感器的敏感機(jī)理和結(jié)構(gòu)；研究三分量電場(chǎng)耦合干擾抑制方法及高精度測(cè)量方法；研究傳感器制備工藝、抗表面電荷積聚封裝等關(guān)鍵技術(shù)；研究傳感器弱信號(hào)檢測(cè)方法，研制出傳感器原型，并在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：傳感器測(cè)量范圍0~100kV/m；單分量電場(chǎng)分辨力優(yōu)于1V/m；軸間耦合度<5%；準(zhǔn)確度優(yōu)于5%；傳感器敏感結(jié)構(gòu)尺寸≤12mm×12mm；申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥3項(xiàng)，制定技術(shù)規(guī)范或標(biāo)準(zhǔn)≥1項(xiàng)。

7、工業(yè)測(cè)控高精度硅基壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)