近日，科學技術(shù)部發(fā)布國家重點研發(fā)計劃 “制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項2021年度項目申報指南。

“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項2021年度項目申報指南中明確提到，本重點專項按照產(chǎn)業(yè)鏈部署創(chuàng)新鏈的要求，從基礎(chǔ)前沿技術(shù)、共性關(guān)鍵技術(shù)、示范應(yīng)用三個層面，圍繞關(guān)鍵基礎(chǔ)件、基礎(chǔ)制造工藝、先進傳感器、高端儀器儀表和基礎(chǔ)技術(shù)保障五個方向部署實施。

在2021年度擬啟動項目研究方向中，與儀器儀表、傳感器相關(guān)的如下：

一、共性關(guān)鍵技術(shù)

1、滾動軸承基礎(chǔ)物理參數(shù)檢測技術(shù)(青年科學家項目)

研究內(nèi)容：研究滾動軸承潤滑性能檢測原理與技術(shù)；研究滾動軸承旋轉(zhuǎn)組件溫度檢測原理與技術(shù)；研究滾動軸承內(nèi)部游隙及受力狀態(tài)檢測原理與技術(shù)；開展?jié)L動軸承基礎(chǔ)物理參數(shù)檢測技術(shù)驗證。

考核指標：研制出真實工況條件下軸承的油膜厚度與分布、旋轉(zhuǎn)組件溫度、軸承內(nèi)部游隙及受力狀態(tài)的檢測裝置；油膜厚度測量范圍0.1~300μm，分辨率優(yōu)于0.1μm；運轉(zhuǎn)條件下軸承內(nèi)外套圈、保持架的溫度測量范圍 RT~180℃，精度優(yōu)于±0.5℃，測量轉(zhuǎn)速不低于30000r/min；運行狀態(tài)下力測量范圍不小于軸承額定動載荷的30%，精度優(yōu)于±1%FS；申請發(fā)明專利≥3項。

2、高性能液壓閥性能在線監(jiān)測與智能控制(青年科學家項目)

研究內(nèi)容：研究液壓閥口的沖蝕磨損及閥芯卡滯機理與演化規(guī)律；建立多維融合感知的液壓閥性能衰退與預測模型；研究電液控制閥服役過程的實時補償技術(shù)，開發(fā)具有性能監(jiān)測和故障診斷功能的可編程集成控制器；開展相關(guān)試驗驗證。

考核指標：高可靠智能型電液控制閥樣機2種以上；控制精度<0.1%，典型故障檢測類型≥5類，識別率≥80%；具備IO-link總線通訊接口的位置軸控精度不低于1%FS；申請發(fā)明專利≥3項。

3、齒輪傳動系統(tǒng)多維信息感知及智能運維(青年科學家項目)

研究內(nèi)容：研究傳動/感知/控制等深度融合的智能化齒輪傳動系統(tǒng)，探索傳動系統(tǒng)全生命周期內(nèi)輪齒損傷(如點蝕、磨損、膠合、斷齒)、應(yīng)力、溫度、振動等多維信息監(jiān)測新方法；研究齒輪傳動系統(tǒng)多維信息的故障自診斷及自適應(yīng)調(diào)控等智能運維機制；研究齒輪傳動系統(tǒng)服役性能及殘余壽命的智能預測方法。

考核指標：齒輪傳動系統(tǒng)智能感知及智能運維驗證系統(tǒng)1臺/套；具備傳動系統(tǒng)內(nèi)部應(yīng)力、溫度、振動及輪齒損傷等監(jiān)測功能，監(jiān)測精度優(yōu)于5%；具備智能運維功能，故障自診斷正確率不低于80%；申請發(fā)明專利≥3項。

4、基于二維材料的柔性應(yīng)變傳感器陣列(青年科學家項目)

研究內(nèi)容：研究基于二維材料的柔性應(yīng)變傳感器敏感材料的性能調(diào)控方法和微觀機理；研究與微納加工、印刷工藝兼容的應(yīng)變敏感材料、傳感器結(jié)構(gòu)、可靠性及封裝技術(shù)，以及柔性應(yīng)變傳感器陣列的加工方法；在工業(yè)或人體表皮進行長期連續(xù)監(jiān)測驗證。

考核指標：傳感器應(yīng)變系數(shù)≥500，拉伸性≥50%，最低檢測限≤0.08%，循環(huán)穩(wěn)定性≥50000次@5%應(yīng)變，響應(yīng)時間≤50ms；陣列性能離散性≤5%；研制應(yīng)變傳感可穿戴集成系統(tǒng)原型，申請發(fā)明專利≥3項，制定技術(shù)規(guī)范或標準≥1項。

5、高靈敏磁電阻傳感器(青年科學家項目)

研究內(nèi)容：研究高靈敏磁電阻傳感器敏感材料、原理和結(jié)構(gòu)；研究低噪聲磁性多層膜結(jié)構(gòu)材料；研究磁電阻—微機電和磁電阻—超導一體化調(diào)制效應(yīng)的影響機理；研究高靈敏磁傳感器芯片制造工藝；研究傳感器的噪聲抑制、磁通匯聚、三維集成、封裝等關(guān)鍵技術(shù)；研究傳感器ASIC芯片設(shè)計；研制原型器件，并在工業(yè)現(xiàn)場試驗驗證。

考核指標：磁傳感器靈敏度優(yōu)于200mV/V/Oe，量程≤±100μT，功耗≤100mW，本底噪聲≤1pT/Hz@1Hz；申請發(fā)明專利≥3項。

6、高靈敏MEMS三維電場傳感器(青年科學家項目)

研究內(nèi)容：研究高靈敏MEMS三維電場傳感器的敏感機理和結(jié)構(gòu)；研究三分量電場耦合干擾抑制方法及高精度測量方法；研究傳感器制備工藝、抗表面電荷積聚封裝等關(guān)鍵技術(shù)；研究傳感器弱信號檢測方法，研制出傳感器原型，并在工業(yè)現(xiàn)場試驗驗證。

考核指標：傳感器測量范圍0~100kV/m；單分量電場分辨力優(yōu)于1V/m；軸間耦合度<5%；準確度優(yōu)于5%；傳感器敏感結(jié)構(gòu)尺寸≤12mm×12mm；申請發(fā)明專利≥3項，制定技術(shù)規(guī)范或標準≥1項。

7、工業(yè)測控高精度硅基壓力傳感器關(guān)鍵技術(shù)