研究?jī)?nèi)容：研究差壓、表壓和絕壓高精度壓力傳感器芯片設(shè)計(jì)制造關(guān)鍵技術(shù)；研究硅基MEMS加工應(yīng)力控制方法與傳感器高可靠封/組裝技術(shù)；研究寬溫區(qū)溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)方法，實(shí)現(xiàn)基于自主開(kāi)發(fā)壓力敏感芯片的系列化壓力傳感器在流程工業(yè)、裝備工業(yè)等重點(diǎn)領(lǐng)域應(yīng)用驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：差壓傳感器量程0.015MPa，非線性誤差0.3%FS，遲滯0.05%FS，工作溫度-40~85℃；表壓傳感器量程0.5MPa，非 線性誤差0.2%FS，遲滯0.05%FS，工作溫度-40~85℃；絕壓傳感器量程3MPa，準(zhǔn)確度 0.02%FS，工作溫度-40~85℃；高溫壓力傳感器量程2MPa，準(zhǔn)確度0.25%FS，工作溫度-55~250℃，響應(yīng)頻率≥400kHz；壓力變送器準(zhǔn)確度0.05%FS；申請(qǐng)發(fā)明專利≥5項(xiàng)。

8、工業(yè)機(jī)器人減速器狀態(tài)監(jiān)測(cè)傳感器關(guān)鍵技術(shù)

研究?jī)?nèi)容：研究薄膜應(yīng)變傳感器在機(jī)器人減速器部件表面上的原位集成工藝、設(shè)計(jì)制造及可靠性技術(shù)；研究適應(yīng)減速器內(nèi)部環(huán)境的無(wú)線應(yīng)變傳感器設(shè)計(jì)制造及測(cè)量技術(shù)；研究MEMS薄膜聲發(fā)射傳感器設(shè)計(jì)制造及可靠性技術(shù)；研制的傳感器在諧波減速器和RV(旋轉(zhuǎn)矢量)減速器應(yīng)用驗(yàn)證。

考核指標(biāo)：諧波減速器應(yīng)變傳感器靈敏度因子≥1.5，TCR(電阻溫度系數(shù))≤110ppm，線寬≤10μm@曲率半徑62.5μm基底；RV減速器無(wú)線應(yīng)變傳感器測(cè)試范圍0~1000με，誤差≤±1%；聲發(fā)射傳感器工作頻率范圍 40~400kHz，靈敏度優(yōu)于60dB；申請(qǐng)發(fā)明專利≥3項(xiàng)。

二、示范應(yīng)用

1、動(dòng)力系統(tǒng)關(guān)鍵傳感器開(kāi)發(fā)及示范應(yīng)用

研究?jī)?nèi)容：研究集成式多路電壓傳感器設(shè)計(jì)、高低壓可靠隔離、高壓切換開(kāi)關(guān)及高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換技術(shù)；研究寬量程電流傳感器芯片設(shè)計(jì)及可靠性技術(shù)；研究高精度電機(jī)位置傳感器薄膜材料工藝、設(shè)計(jì)及制造技術(shù)，開(kāi)發(fā)信號(hào)調(diào)理電路；開(kāi)發(fā)傳感器及模塊應(yīng)用技術(shù)，在電動(dòng)汽車等領(lǐng)域示范應(yīng)用。

考核指標(biāo)：多路電壓傳感器最高檢測(cè)電壓≥1000V，電壓檢測(cè)精度優(yōu)于0.5%，采樣率≥1MHz，分辨率≥12 Bit；電流傳感器直流量程±1000A，精度優(yōu)于0.1%；電機(jī)位置傳感器轉(zhuǎn)速范圍0~30000r/min，分辨率≥16 Bit(360度角度范圍)，系統(tǒng)延時(shí)≤2μs；檢測(cè)高壓母線電流，功能安全等級(jí)ASIL B；傳感器可靠性水平滿足不同電動(dòng)汽車用戶單位要求。

2、動(dòng)力電池組控制安全傳感器開(kāi)發(fā)及示范應(yīng)用

研究?jī)?nèi)容：研究動(dòng)力電池組單體電壓與溫度檢測(cè)方法，高速高精度模數(shù)轉(zhuǎn)換及多芯片擴(kuò)展技術(shù)；研究電池?zé)崾Э氐膲毫?、VOC(揮發(fā)性有機(jī)化合物)、氣溶膠等傳感器設(shè)計(jì)制造技術(shù)；開(kāi)發(fā)傳感器及模塊應(yīng)用技術(shù)，在電動(dòng)汽車等領(lǐng)域示范應(yīng)用。

考核指標(biāo)：?jiǎn)误w直流電壓監(jiān)測(cè)范圍±5V，測(cè)量精度優(yōu)于±2.5mV；熱失控監(jiān)測(cè)傳感器壓力測(cè)量范圍50~250kPa，誤差≤±1.5kPa，響應(yīng)速度≥100ms；VOC傳感器檢測(cè)氣體成分包括：CO、CO2、C2H4、CH2O 有機(jī)揮發(fā)物，測(cè)量范圍0~5000ppm，誤差≤±15%；氣溶膠傳感器測(cè)量范圍200~5000μg/m3，誤差≤±15%；整機(jī)安全：防止乘客倉(cāng)起火ASIL D，防止人員觸電ASIL D；傳感器可靠性水平滿足不同用戶單位要求。

3、醫(yī)療影像裝備關(guān)鍵傳感器開(kāi)發(fā)及示范應(yīng)用

研究?jī)?nèi)容：研究SiPM(硅基光電倍增管)輻射傳感器設(shè)計(jì)制造；研究磁柵位置傳感器設(shè)計(jì)制造及抗輻照技術(shù)；研究強(qiáng)磁場(chǎng)背景下高分辨磁場(chǎng)傳感器設(shè)計(jì)制造技術(shù)；研究傳感器敏感元件與相關(guān)抗輻照調(diào)理電路設(shè)計(jì)；研制的傳感器在CT(斷層掃描儀)、PET(正電子發(fā)射斷層成像)、RT(影像引導(dǎo)放療)或MR(磁共 振)等醫(yī)療影像裝備示范應(yīng)用。