浙江省計量院是依法履行計量檢定和產(chǎn)品質量監(jiān)督檢驗職能的公益類科研事業(yè)單位。近日，浙江省計量院“掃描探針顯微鏡校準裝置”通過了專家組現(xiàn)場考核，建立了全國首個納米計量領域社會公用計量標準。

掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡(原子力顯微鏡AFM、激光力顯微鏡LFM、磁力顯微鏡MFM等)的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工、自動控制技術、數(shù)字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。

目前，浙江省計量院已具備微納幾何結構關鍵尺寸的計量校準能力，可為半導體企業(yè)、精密加工中心的關鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準的途徑，更加全面準確地為半導體、微電子行業(yè)的納米尺度關鍵尺寸檢測提供技術保障。

近年來，浙江省計量院為了加強質量技術基礎及體系建立，服務浙江省經(jīng)濟轉型升級，圍繞“三強一制造”中心工作，不斷在高端裝備、醫(yī)療衛(wèi)生、大氣治理、新材料等領域建立社會公用計量標準，滿足新產(chǎn)業(yè)領域發(fā)展的需要。