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優(yōu)可測發(fā)布 AM8000 白光干涉儀,亞納米精度打破國際壟斷


  來源: 儀商網(wǎng) 時間:2025-03-28 編輯:Jane
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國內精密測量儀器領軍企業(yè)優(yōu)可測今日正式發(fā)布旗艦產品 AM8000 白光干涉儀。該設備采用專利光學系統(tǒng)和智能算法,實現(xiàn)小于 1 納米的表面形貌測量精度,標志著中國在高端光學測量領域取得重大突破。


優(yōu)可測發(fā)布 AM8000 白光干涉儀


AM8000 創(chuàng)新性支持 1X-10X 多倍率鏡頭切換,配備 300mm 大行程電控平臺,可完成從 18×11mm 大視野到微孔深樣品的全場景測量。其獨創(chuàng)的 "EquiDrive 自動調平" 技術將傳統(tǒng) 30 分鐘的手動操作縮短至 5 秒,配合循環(huán)測量和批量報告導出功能,顯著提升半導體晶圓、精密光學元件等復雜工件的檢測效率。第三方檢測顯示,設備隔振穩(wěn)定性較前代提升 270%,RMS 重復性達 0.0041nm。

"我們通過氣浮緩沖和低重心設計,使設備對環(huán)境振動敏感度降低 80%。" 優(yōu)可測技術總監(jiān)透露。目前該產品已獲得 TS16949 汽車行業(yè)認證,成功應用于寧德時代電池箔檢測、華為芯片封裝形貌分析等項目,單臺設備年檢測量可達 50 萬件以上。

關鍵詞:白光干涉儀 亞納米測量 半導體檢測    瀏覽量:709

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