國內(nèi)精密測量儀器領(lǐng)軍企業(yè)優(yōu)可測今日正式發(fā)布旗艦產(chǎn)品 AM8000 白光干涉儀。該設(shè)備采用專利光學(xué)系統(tǒng)和智能算法，實(shí)現(xiàn)小于 1 納米的表面形貌測量精度，標(biāo)志著中國在高端光學(xué)測量領(lǐng)域取得重大突破。

AM8000 創(chuàng)新性支持 1X-10X 多倍率鏡頭切換，配備 300mm 大行程電控平臺(tái)，可完成從 18×11mm 大視野到微孔深樣品的全場景測量。其獨(dú)創(chuàng)的 "EquiDrive 自動(dòng)調(diào)平" 技術(shù)將傳統(tǒng) 30 分鐘的手動(dòng)操作縮短至 5 秒，配合循環(huán)測量和批量報(bào)告導(dǎo)出功能，顯著提升半導(dǎo)體晶圓、精密光學(xué)元件等復(fù)雜工件的檢測效率。第三方檢測顯示，設(shè)備隔振穩(wěn)定性較前代提升 270%，RMS 重復(fù)性達(dá) 0.0041nm。

"我們通過氣浮緩沖和低重心設(shè)計(jì)，使設(shè)備對環(huán)境振動(dòng)敏感度降低 80%。" 優(yōu)可測技術(shù)總監(jiān)透露。目前該產(chǎn)品已獲得 TS16949 汽車行業(yè)認(rèn)證，成功應(yīng)用于寧德時(shí)代電池箔檢測、華為芯片封裝形貌分析等項(xiàng)目，單臺(tái)設(shè)備年檢測量可達(dá) 50 萬件以上。