相信大家都有所了解，半導(dǎo)體制造廠(chǎng)商對(duì)供電有著極高的要求，特別是對(duì)于電力供應(yīng)品質(zhì)要求更高的晶圓相關(guān)產(chǎn)業(yè)，一旦發(fā)生電壓瞬降，不僅對(duì)敏感的微電腦自動(dòng)控制設(shè)備造成不可預(yù)期的傷害，也會(huì)使制程中斷，而產(chǎn)生極大的損失。為了能保護(hù)敏感的設(shè)備能夠免于電壓瞬降的危害，SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制程設(shè)備對(duì)電壓瞬降的耐受等級(jí)，要求對(duì)通常發(fā)生在交流電網(wǎng)中的電壓驟降具有“免疫力”。

Q:何謂SEMI F47電壓瞬降測(cè)試？

電壓瞬降通常是指負(fù)載端電壓值降到額定電壓值的90%以下，并持續(xù)0.5~60個(gè)周期，而SEMI F47是半導(dǎo)體制程設(shè)備電壓暫降抗擾度規(guī)范。在SEMI F47-0706中，以50Hz為例，電壓為50%標(biāo)稱(chēng)值時(shí)為10周、電壓為70%標(biāo)稱(chēng)值時(shí)為25周、電壓為80%標(biāo)稱(chēng)值時(shí)為50周。一些晶圓廠(chǎng)會(huì)要求更高等級(jí)的耐受，相較F47-0200增加電壓瞬降的耐受時(shí)間或強(qiáng)度，在電壓為0%標(biāo)稱(chēng)值時(shí)為1周，電壓為80%標(biāo)稱(chēng)值時(shí)為500周。

艾德克斯始終致力于提供以功率電子為核心的全方位專(zhuān)業(yè)測(cè)試測(cè)量解決方案，全新一代交流電源產(chǎn)品系列IT7800系列大功率可編程電源、IT7900/IT7900P系列回饋式電網(wǎng)模擬器擁有強(qiáng)大的任意波形編輯功能，除了內(nèi)置的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法規(guī)波形外，還可以模擬諧波/間諧波及各種復(fù)雜的電網(wǎng)擾動(dòng)波形，是測(cè)試和實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。

測(cè)試需求

SEMI F47法規(guī)測(cè)試

三相輸出，其中一相1個(gè)周期50Hz(20ms)的瞬降(0V)

通常大家可能會(huì)想到用List功能來(lái)編輯此波形，這是可以的，然而對(duì)于非整數(shù)周期，像是60Hz（16.7ms），計(jì)算每個(gè)單步的持續(xù)時(shí)間就相對(duì)復(fù)雜。此時(shí)我們可以考慮用突波/陷波功能來(lái)輕松實(shí)現(xiàn)。

IT7800/IT7900/IT7900P系列可編程交流電源提供突波/陷波的模擬功能，用戶(hù)可以根據(jù)需求在輸出的波形基礎(chǔ)上加上突波/陷波來(lái)模擬電路系統(tǒng)中電壓的異常波動(dòng)，而且突波/陷波可以疊加在任意基礎(chǔ)波形上，設(shè)置如下：

實(shí)測(cè)波形如下：

可以看到A相跌落到0，持續(xù)時(shí)間1個(gè)周期，每5個(gè)周期出現(xiàn)一次。

IT7800大功率可編程交流電源、IT7900/P回饋式電網(wǎng)模擬器在3U的有限空間里面，提供了高達(dá)15kVA的功率輸出。單個(gè)機(jī)柜功率最大可達(dá)165kVA，最多可擴(kuò)展至960kVA。同時(shí)相電壓輸出達(dá)350V，具有AC/DC/AC+DC/DC+AC四種輸出模式，單相，三相及反相等靈活輸出能力。適用于新能源、軌道交通、半導(dǎo)體及科研院校等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)、生產(chǎn)、質(zhì)檢階段。

IT7900電網(wǎng)模擬器還具有孤島保護(hù)測(cè)試功能，可用于并網(wǎng)逆變器、儲(chǔ)能PCS測(cè)試；IT7900P除了可以作為電網(wǎng)模擬器和全四象限功率放大器使用，同時(shí)也是一臺(tái)回饋式的交/直流電子負(fù)載。