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MEMS鍵合工藝成就單芯片“可見光+短波紅外”高光譜成像


  來源: 麥姆斯咨詢 時(shí)間:2020-08-07 編輯:清風(fēng)
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近年來,人們對短波紅外(在1000到2000納米之間)波段的成像需求不斷攀升。這些短波紅外傳感器在食品檢驗(yàn)等行業(yè)至關(guān)重要,它們可以提供探測物體內(nèi)部的能力,例如,可通過早期探測蘋果瘀傷,來防止整個(gè)蘋果變壞(如圖1a)。


類似地,可以探測物質(zhì)反射的特征短波紅外波長(如圖1b)并防止有毒食品污染物進(jìn)入供應(yīng)鏈。這樣就可以利用這種非常經(jīng)濟(jì)且高效的工具,來識(shí)別出復(fù)雜混合物中的少量污染物。例如,2015年的研究表明混雜了馬肉的牛肉可以利用可見光(515、595、650納米)到短波紅外(880納米)波段的四種波長進(jìn)行快速識(shí)別(論文鏈接為:https://link.springer.com/article/10.1007/s11947-015-1470-7)。


圖1 短波紅外成像可以看到以往不可見的細(xì)節(jié),如擦傷或表皮以下部分。我們比較了可見光(如圖a左圖)和短波紅外傳感器捕獲的圖像,結(jié)果發(fā)現(xiàn)只有短波紅外圖像可顯示出蘋果的瘀傷和缺陷(如圖a右圖)。同時(shí)不同化學(xué)物質(zhì)以高度特定的波長吸收短波紅外波段,從而產(chǎn)生獨(dú)特的吸收光譜。因此利用短波紅外成像可識(shí)別食物中的污染物。圖b左圖由可見光傳感器拍攝(圖b右圖由短波紅外傳感器拍攝),圖b中從左至右的物質(zhì)分別為鹽、糖和土豆淀粉。


事實(shí)上,高光譜成像技術(shù)在未來預(yù)防食品污染領(lǐng)域可能將發(fā)揮關(guān)鍵作用,因此,包括歐盟和美國在內(nèi)的諸多政府已批準(zhǔn)并正在資助該項(xiàng)目,以進(jìn)一步評估其潛力。


短波紅外成像對安全、天文學(xué)等不同領(lǐng)域也有著重要意義,如從硅晶圓、平板顯示器檢測到藝術(shù)品修復(fù),從藥物研發(fā)到自動(dòng)駕駛汽車。2018年的研究表明,短波紅外成像甚至能夠可視化腦瘤并實(shí)現(xiàn)非侵入性檢測(論文鏈接為:https://doi.org/10.3390/s18020430)。


傳統(tǒng)短波紅外傳感器的功能


傳統(tǒng)情況下,短波紅外成像無法使用與可見光成像相同的傳感器技術(shù)。在可見光(400 nm – 700 nm)應(yīng)用中,通常采用CMOS圖像傳感器,可以使可見光傳感器的像素間距迅速縮小,從而提供更高的分辨率。此外,CMOS還可實(shí)現(xiàn)數(shù)字輸出。然而,CMOS無法捕捉波長超過1100 nm的光。


為了克服這一問題,短波紅外成像采用了銦鎵砷(InGaAs)技術(shù)。然而傳統(tǒng)的InGaAs技術(shù)分辨率很低,并且凸點(diǎn)鍵合(bump bonding)的性質(zhì)阻止了器件的進(jìn)一步微型化(圖2)。此外,這種鍵合工藝可產(chǎn)生模擬輸出,而傳統(tǒng)的InGaAs短波紅外傳感器結(jié)構(gòu)則阻止了可見光到達(dá)光電轉(zhuǎn)換層。


傳統(tǒng)InGaAs短波紅外傳感器不僅圖像分辨率很低,而且制造能夠同時(shí)捕捉可見光和短波紅外的高光譜相機(jī)成本也非常高。下文將仔細(xì)分析如何通過一種新的工藝技術(shù)來解決這三個(gè)關(guān)鍵的限制(分辨率、靈敏度和模擬輸出)。


圖2 左圖為傳統(tǒng)InGaAs短波紅外傳感器結(jié)構(gòu)——讀出電路(ROIC)與bump連接;右圖為Cu-Cu連接,器件尺寸明顯縮小。


分辨率的提升


分辨率和微型化問題主要來自于InGaAs層(光電轉(zhuǎn)換發(fā)生)與讀出電路(硅層)之間傳統(tǒng)的bump連接,通過在光電二極管陣列(PDA)的III-V InGaAs / InP(銦砷化鎵、磷化銦)層與硅層間采用Cu-Cu雜化可以解決該問題。


2019年12月,這種新工藝方法由索尼研究團(tuán)隊(duì)在2019年IEEE國際電子器件會(huì)議(International Electron Devices Meeting,IEDM)上首次提出,并于2020年2月被收錄于IEEE Xplore(論文鏈接為:https://ieeexplore.ieee.org/document/8993432)。這種方法為下一代短波紅外傳感器打開了更高像素密度的大門,并使打造更小尺寸和更高分辨率的傳感器成為可能。


使用傳統(tǒng)bump-bonding工藝的短波紅外芯片的像素間距約為10 μm。而第一代基于新技術(shù)的短波紅外傳感器可將像素間距縮小到5 μm,在同一空間內(nèi)使像素?cái)?shù)提高了四倍,以1/2-type(對角線8.2 mm)封裝創(chuàng)建SXGA(1296 × 1032)分辨率短波紅外傳感器,以1/4-type(對角線4.1 mm)封裝創(chuàng)建VGA(656 × 520)分辨率傳感器。


靈敏度的提升


同一傳感器如同時(shí)具有捕獲短波紅外和可見光的能力,可顯著降低需要高光譜成像應(yīng)用的成本。減少InP層的厚度使該想法成為可能,InP層對于傳統(tǒng)傳感器來說是可見光穿透的關(guān)鍵限制因素。


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