對(duì)材料微觀結(jié)構(gòu)的觀測離不開“微觀相機(jī)”——掃描電子顯微鏡，它被廣泛地應(yīng)用于材料、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、化學(xué)和半導(dǎo)體等各個(gè)研究領(lǐng)域。10月16日，記者從經(jīng)開區(qū)企業(yè)聚束科技(北京)有限公司了解到，其自主研發(fā)生產(chǎn)的全球首款真正意義上的高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡將于近期亮相BCEIA2019展會(huì)，并以實(shí)物通電工作狀態(tài)展示高端電鏡的風(fēng)采，破解了國產(chǎn)掃描電鏡“弱視”問題，標(biāo)志著這一“卡脖子”技術(shù)在經(jīng)開區(qū)實(shí)現(xiàn)了突破。
2018年，科技日?qǐng)?bào)公布了35項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)名錄，掃描電鏡赫然在列。由于高質(zhì)量電子光學(xué)系統(tǒng)研制生產(chǎn)困難，透鏡內(nèi)探測器設(shè)計(jì)難度大、低電壓分辨率難以突破，目前我國科研與工業(yè)部門所用的掃描電鏡嚴(yán)重依賴進(jìn)口，每年花費(fèi)上億美元采購的掃描電鏡，主要產(chǎn)自美、日、德和捷克等國。國產(chǎn)掃描電鏡市場份額只占約2%-5%，而且全部集中在低端產(chǎn)品。“雖然市場不是特別大，但它是多個(gè)科研領(lǐng)域關(guān)鍵的分析用儀器設(shè)備，國產(chǎn)高通量掃描電鏡的問世，從設(shè)計(jì)思路上用于創(chuàng)新，破解‘卡脖子’技術(shù)封鎖，起到重要作用?！本凼萍几笨偨?jīng)理李帥說。
今年初，經(jīng)開區(qū)在部署年度工作重點(diǎn)任務(wù)時(shí)就強(qiáng)調(diào)，要堅(jiān)持以全球視野謀劃科技創(chuàng)新，在關(guān)鍵環(huán)節(jié)、核心技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)制定上超前布局、提早謀劃，力爭在“卡脖子”領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。在政策引導(dǎo)上、扶持培育上將“卡脖子”技術(shù)作為重點(diǎn)對(duì)象，目前已經(jīng)篩選出了一批名單，下一步還將加大扶持力度，集中力量在優(yōu)勢領(lǐng)域培育“殺手锏”，掃描電鏡技術(shù)就是其中之一。
在聚束科技生產(chǎn)車間，記者看到研發(fā)團(tuán)隊(duì)正在組裝名為領(lǐng)航者的掃描電鏡。據(jù)介紹，該型電鏡的性能先進(jìn)，超高速成像能力達(dá)4-8TB/天，使之具備了跨尺度信息融合能力。超大區(qū)域全息成像模式，保持高分辨率情況下對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)無遺漏信息采集，并可繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。同時(shí)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)樣品載入系統(tǒng)，搭載有超高清全景光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，具有全球最快的二次電子(SE)加背散射電子（BSE）同步成像速度，比傳統(tǒng)的產(chǎn)品快了10倍以上，可以7×24小時(shí)自動(dòng)連續(xù)圖像采集，為創(chuàng)建大數(shù)據(jù)提供了可靠的保障。令人欣喜的是，電鏡在1千伏加速電壓下可獲得1.4納米、10千伏下可獲得1.0納米的分辨能力。1納米相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的10萬分之一。
“該系統(tǒng)可對(duì)工程級(jí)材料進(jìn)行整體納米晶粒、成分分布統(tǒng)計(jì)等電鏡微區(qū)分析，視頻級(jí)納米分析能力使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米‘照相機(jī)’躍變?yōu)榧{米‘?dāng)z像機(jī)’?！本凼萍伎偨?jīng)理何偉告訴記者，此前已經(jīng)交付的領(lǐng)航者電鏡除了與中科院自動(dòng)化所合作的生物樣品大面積3D重構(gòu)外，其產(chǎn)品還可以應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓及芯片檢測（實(shí)驗(yàn)室級(jí)）、芯片反向工程和IP保護(hù)、材料表面鍍膜與制備的自動(dòng)化檢測、醫(yī)療領(lǐng)域病變組織的病理篩查分析等方面。
經(jīng)過幾年的發(fā)展，聚束科技已經(jīng)聚集了70多人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開展技術(shù)攻關(guān)，獲得國家發(fā)明專利、實(shí)用新型專利、國際PCT專利共計(jì)30余項(xiàng)（篇），領(lǐng)航者掃描電鏡在國內(nèi)裝機(jī)數(shù)量也達(dá)到10臺(tái)（套），并出口海外，實(shí)現(xiàn)了在國內(nèi)重大科研項(xiàng)目上的示范性應(yīng)用，下一步，掃描電鏡設(shè)備還將進(jìn)入到某知名半導(dǎo)體芯片制造商等公司的實(shí)驗(yàn)室里，協(xié)助進(jìn)行開發(fā)分析，助力高端制造。
2018年，科技日?qǐng)?bào)公布了35項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)名錄，掃描電鏡赫然在列。由于高質(zhì)量電子光學(xué)系統(tǒng)研制生產(chǎn)困難，透鏡內(nèi)探測器設(shè)計(jì)難度大、低電壓分辨率難以突破，目前我國科研與工業(yè)部門所用的掃描電鏡嚴(yán)重依賴進(jìn)口，每年花費(fèi)上億美元采購的掃描電鏡，主要產(chǎn)自美、日、德和捷克等國。國產(chǎn)掃描電鏡市場份額只占約2%-5%，而且全部集中在低端產(chǎn)品。“雖然市場不是特別大，但它是多個(gè)科研領(lǐng)域關(guān)鍵的分析用儀器設(shè)備，國產(chǎn)高通量掃描電鏡的問世，從設(shè)計(jì)思路上用于創(chuàng)新，破解‘卡脖子’技術(shù)封鎖，起到重要作用?！本凼萍几笨偨?jīng)理李帥說。
今年初，經(jīng)開區(qū)在部署年度工作重點(diǎn)任務(wù)時(shí)就強(qiáng)調(diào)，要堅(jiān)持以全球視野謀劃科技創(chuàng)新，在關(guān)鍵環(huán)節(jié)、核心技術(shù)、標(biāo)準(zhǔn)制定上超前布局、提早謀劃，力爭在“卡脖子”領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。在政策引導(dǎo)上、扶持培育上將“卡脖子”技術(shù)作為重點(diǎn)對(duì)象，目前已經(jīng)篩選出了一批名單，下一步還將加大扶持力度，集中力量在優(yōu)勢領(lǐng)域培育“殺手锏”，掃描電鏡技術(shù)就是其中之一。
在聚束科技生產(chǎn)車間，記者看到研發(fā)團(tuán)隊(duì)正在組裝名為領(lǐng)航者的掃描電鏡。據(jù)介紹，該型電鏡的性能先進(jìn)，超高速成像能力達(dá)4-8TB/天，使之具備了跨尺度信息融合能力。超大區(qū)域全息成像模式，保持高分辨率情況下對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)無遺漏信息采集，并可繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。同時(shí)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)樣品載入系統(tǒng)，搭載有超高清全景光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，具有全球最快的二次電子(SE)加背散射電子（BSE）同步成像速度，比傳統(tǒng)的產(chǎn)品快了10倍以上，可以7×24小時(shí)自動(dòng)連續(xù)圖像采集，為創(chuàng)建大數(shù)據(jù)提供了可靠的保障。令人欣喜的是，電鏡在1千伏加速電壓下可獲得1.4納米、10千伏下可獲得1.0納米的分辨能力。1納米相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的10萬分之一。
“該系統(tǒng)可對(duì)工程級(jí)材料進(jìn)行整體納米晶粒、成分分布統(tǒng)計(jì)等電鏡微區(qū)分析，視頻級(jí)納米分析能力使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米‘照相機(jī)’躍變?yōu)榧{米‘?dāng)z像機(jī)’?！本凼萍伎偨?jīng)理何偉告訴記者，此前已經(jīng)交付的領(lǐng)航者電鏡除了與中科院自動(dòng)化所合作的生物樣品大面積3D重構(gòu)外，其產(chǎn)品還可以應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓及芯片檢測（實(shí)驗(yàn)室級(jí)）、芯片反向工程和IP保護(hù)、材料表面鍍膜與制備的自動(dòng)化檢測、醫(yī)療領(lǐng)域病變組織的病理篩查分析等方面。
經(jīng)過幾年的發(fā)展，聚束科技已經(jīng)聚集了70多人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)開展技術(shù)攻關(guān)，獲得國家發(fā)明專利、實(shí)用新型專利、國際PCT專利共計(jì)30余項(xiàng)（篇），領(lǐng)航者掃描電鏡在國內(nèi)裝機(jī)數(shù)量也達(dá)到10臺(tái)（套），并出口海外，實(shí)現(xiàn)了在國內(nèi)重大科研項(xiàng)目上的示范性應(yīng)用，下一步，掃描電鏡設(shè)備還將進(jìn)入到某知名半導(dǎo)體芯片制造商等公司的實(shí)驗(yàn)室里，協(xié)助進(jìn)行開發(fā)分析，助力高端制造。
