隨著超精密加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，各種微納結(jié)構(gòu)元件廣泛應(yīng)用于超材料、微電子、航空航天、環(huán)境能源、生物技術(shù)等領(lǐng)域。其中超精密3D顯微測量技術(shù)是提升微納制造技術(shù)發(fā)展水平的關(guān)鍵，中圖儀器自主研發(fā)的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測技術(shù)，廣泛應(yīng)用于涉足超精密加工領(lǐng)域的三維形貌檢測與表面質(zhì)量檢測方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結(jié)構(gòu)復(fù)雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構(gòu)與檢測方面具有不俗的表現(xiàn)。

一.結(jié)構(gòu)深、角度大

電子產(chǎn)品中一些光學(xué)薄膜表面存在一些特殊的微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)表現(xiàn)為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測量此類結(jié)構(gòu)時，由于形貌陡峭、角度大，無法形成干涉條紋信號，或條紋寬度過窄而無法準(zhǔn)確地解調(diào)出深度信息。

VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀。

二.反射差、信號弱

碳纖維紙類的表面反射率極低，結(jié)構(gòu)復(fù)雜且呈立體狀。白光干涉儀因其對樣品表面反射形成的干涉條紋光信號對比度要求較高，而碳紙表面纖維絲的立體角度大，導(dǎo)致部分位置因反射率極低形成的干涉條紋對比度較低甚至無法形成干涉條紋，從而難以解調(diào)出深度信息。

VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現(xiàn)出其特有的弱光信號解析能力優(yōu)勢，對樣件表面的低反射率特性適應(yīng)能力更強。

中圖儀器以其自主研發(fā)的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起，構(gòu)成光學(xué)3D顯微測量領(lǐng)域的姊妹雙姝，為國內(nèi)超精密加工與微納制造領(lǐng)域提供更全面、更專業(yè)的3D顯微形貌檢測方案。