氫能源是終極的清潔能源，是中國(guó)新能源未來(lái)發(fā)展的重點(diǎn)領(lǐng)域。近年來(lái)國(guó)家開始部署氫能發(fā)展與利用，國(guó)內(nèi)主要車企均已開展氫燃料電池電動(dòng)汽車的研發(fā)。

雖然氫能源作為一種清潔而高效的能源替代傳統(tǒng)能源是必然趨勢(shì)，但氫氣易燃易爆，空氣中只需含有4%的氫氣就能產(chǎn)生氫氧氣體，有時(shí)也稱為氫氧混合氣（knallgas），最小的火花都能將此類氣體點(diǎn)燃。氫能源在全產(chǎn)業(yè)鏈包括氫氣制備、貯存、運(yùn)輸和使用過(guò)程中需要諸如壓力傳感器、溫度傳感器、氫氣濃度傳感器等多種傳感器對(duì)其內(nèi)外部環(huán)境保持監(jiān)測(cè)。

為了保證未來(lái)氫燃料汽車以及相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施的安全，必須探測(cè)，而且氫氣傳感器的響應(yīng)速度必須足夠快速，以便在起火發(fā)生之前探測(cè)到泄露的氫氣。

煒盛科技現(xiàn)已推出針對(duì)氫燃料電池汽車氫氣泄漏檢測(cè)的MEMS氫氣傳感器：GMV-2021B。

GMV-2021B為基于MEMS技術(shù)的半導(dǎo)體金屬氧化物氫氣傳感器，半導(dǎo)體金屬氧化物吸附氧氣時(shí)， 電阻率會(huì)顯著增加，當(dāng)氫氣等還原性氣體將金屬氧化物化學(xué)吸附層中的氧氣還原時(shí)，電阻率會(huì)隨之變化，通過(guò)檢測(cè)電阻變化量即可檢測(cè)氫氣濃度。

極低的檢測(cè)下限、快速地的響應(yīng)速度

大部分半導(dǎo)體金屬氧化物傳感器都采用氧化錫作為敏感材料，可測(cè)氫氣濃度范圍為10ppm至20ppm，其平均響應(yīng)時(shí)間在20s左右。GMV-2021B MEMS氫氣傳感器可檢測(cè)1ppm甚至ppb級(jí)別的檢測(cè) ，響應(yīng)時(shí)間在10s以內(nèi)，可探測(cè)空氣中微小含量的氣體并快速響應(yīng)。

獨(dú)特的抗干擾特性，避免其它氣體的干擾

選擇性是半導(dǎo)體原理傳感器很難跨越的一個(gè)技術(shù)壁壘，通常采用材料特異性、工作溫度選擇、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法或片上選擇性富集方式來(lái)提高其抗干擾特性，但很難實(shí)現(xiàn)高精度抗干擾特性檢測(cè)。GMV-2021B MEMS氫氣傳感器可實(shí)現(xiàn)獨(dú)特的抗干擾效果，避免醇類物質(zhì)、甲烷、一氧化碳等還原性氣體的干擾，保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

絕佳的可制造性，更適于新能源市場(chǎng)的應(yīng)用

采用MEMS制造工藝加工而成，摒棄了傳統(tǒng)傳感器生產(chǎn)過(guò)程中繁瑣的人工環(huán)節(jié)，使得傳感器的一致性及生產(chǎn)效率獲得極大提升。

隨著國(guó)家頂層設(shè)計(jì)的推出以及各地氫燃料電池產(chǎn)業(yè)規(guī)劃的推進(jìn)，相關(guān)技術(shù)有望得到突破，規(guī)模化應(yīng)用將帶來(lái)成本下降，從而加快氫能源商業(yè)化應(yīng)用進(jìn)程，隨之氫氣傳感器將會(huì)得到大規(guī)模的應(yīng)用，而基于半導(dǎo)體原理的MEMS氫氣傳感器因其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)將占據(jù)更大的市場(chǎng)。