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國內(nèi)首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線成功通線


  來源: 傳感器技術(shù) 時間:2021-07-01 編輯:儀器儀表WXF
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6月30日,由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(簡稱“創(chuàng)新中心”)建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進傳感器中試線成功通線。該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主,具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力,同時為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺,加速先進傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化,實現(xiàn)自主可控。

12寸中試線的工藝設(shè)備

圖:12寸中試線的工藝設(shè)備

 

面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應(yīng)用需求,創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù),重點突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進傳感器的核心工藝,并推動相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

12英寸中試線位于上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園內(nèi),產(chǎn)業(yè)園以智能傳感器為核心,以創(chuàng)新平臺和龍頭企業(yè)為支撐,伴有精準(zhǔn)的政策助力,發(fā)展傳感器特色工藝,積極培育和引進領(lǐng)先的智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)軍企業(yè),促進產(chǎn)業(yè)集聚和協(xié)同發(fā)展,力爭將上海嘉定打造成國內(nèi)傳感器領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)高地。

 

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進傳感器技術(shù)創(chuàng)新,以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo),聯(lián)合中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟1000+ 家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā),形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”協(xié)同創(chuàng)新機制,加速我國先進傳感器及其相關(guān)應(yīng)用的核心技術(shù)發(fā)展,推動智能傳感、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。

關(guān)鍵詞:傳感器 中試線 成功通線    瀏覽量:1361

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