目前，在微/納米機械中，精密測量技術(shù)一個重要研究對象是微結(jié)構(gòu)的機械性能與力學(xué)性能、諧振頻率、彈性模量、殘余應(yīng)力及疲勞強度等。微細結(jié)構(gòu)的缺陷研究，如金屬聚集物、微沉淀物、微裂紋等測試技術(shù)的納米分析技術(shù)目前尚不成熟。國外在此領(lǐng)域主要開展用于晶體缺陷的激光掃描層析技術(shù)，用于研究樣品頂部幾個微米之內(nèi)缺陷情況的納米激光雷達技術(shù)，其探測尺度分辨率均可達到1nm。

以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移

圖像識別測量技術(shù)

隨著近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，幾何尺寸與形位測量已從簡單的一維、二維坐標或形體發(fā)展到復(fù)雜的三維物體測量，從宏觀物體發(fā)展到微觀領(lǐng)域。正確地進行圖像識別測量已經(jīng)成為測量技術(shù)中的重要課題。

圖像識別測量過程包括：（1）圖像信息的獲??；（2）圖像信息的加工處理，特征提取；（3）判斷分類。計算機及相關(guān)計算技術(shù)完成信息的加工處理及判斷分類，這些涉及到各種不同的識別模型及數(shù)理統(tǒng)計知識。

圖像測量系統(tǒng)一般由以下結(jié)構(gòu)組成。以機械系統(tǒng)為基礎(chǔ)，線陣、面陣電荷耦合器件CCD或全息照相系統(tǒng)構(gòu)成攝像系統(tǒng)；信息的轉(zhuǎn)換由視頻處理器件完成電荷信號到數(shù)字信號的轉(zhuǎn)換；計算機及計算技術(shù)實現(xiàn)信息的處理和顯示；回饋系統(tǒng)包括溫度誤差補償，攝像系統(tǒng)的自動調(diào)焦等功能；載物工作臺具有三坐標或多坐標自由度，可以精確控制微位移。

圖像測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

1、CCD傳感器技術(shù)

物體三維輪廓測量方法中，有三坐標法、干涉法、穆爾等高線法及相位法等。而非接觸電荷耦合器件CCD是近年來發(fā)展很快的一種圖像信息傳感器。它具有自掃描、光電靈敏度高、幾何尺寸精確及敏感單元尺寸小等優(yōu)點。隨著集成度的不斷提高、結(jié)構(gòu)改善及材料質(zhì)量的提高，它已日益廣泛地應(yīng)用于工業(yè)非接觸圖像識別測量系統(tǒng)中。

在對物體三維輪廓尺寸進行檢測時，采用軟件或硬件的方法，如解調(diào)法、多項式插值函數(shù)法及概率統(tǒng)計法等，測量系統(tǒng)分辨率可達微米級。也有將CCD應(yīng)用于測量半導(dǎo)體材料表面應(yīng)力的研究。

2、照相技術(shù)

全息照相測量技術(shù)是60年代發(fā)展起來的一種新技術(shù)，用此技術(shù)可以觀察到被測物體的空間像。激光具有極好的空間相干性和時間相干性，通過光波的干涉把經(jīng)物體反射或透射后，光束中的振幅與相位信息。

超精密測量技術(shù)所代表的測量技術(shù)在國防、航天、航空、航海、鐵道、機械、輕工、化工、電子、電力、電信、鋼鐵、石油、礦山、煤炭、地質(zhì)、勘側(cè)等領(lǐng)域有極其廣泛的應(yīng)用，在國民經(jīng)濟建設(shè)中占有重要的地位。在精密制造中，超精密測量技術(shù)是產(chǎn)品合格的基本保證。