同時，根據(jù)Yole的說法，與10年前相比，意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics），德州儀器（Texas Instruments）和惠普（Hewlett Packard）市場份額大有縮減之勢，而TDK則按照自己的步伐發(fā)展。

MEMS代工廠格局：中國賽微電子控股的代工廠榮登第一

將代工廠用于MEMS的半導(dǎo)體時代已經(jīng)開始。2018年MEMS代工市場為4.9億美元，2019年增長了5％，達(dá)到5.1億美元。MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，以及獨(dú)立代工廠提供的MEMS代工。其中，獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。

全球領(lǐng)先的純MEMS代工廠有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems、X-FAB、Innovative Micro Technology等。臺積電是全球最大的晶圓代工廠，其MEMS代工業(yè)務(wù)也排在行業(yè)前列。目前，提供MEMS代工的IDM廠商主要有ST、索尼、TI等。根據(jù)Yole發(fā)布的2019 MEMS foundry排名情況來看，與2018年還是有很大變化的。

2019年的MEMS Foundry銷售額排行榜。一般情況下，MEMS Foundry也兼具半導(dǎo)體Foundry的功能，此處僅僅是MEMS Foundry的銷售額統(tǒng)計(jì)。(圖片出自：Yole Développement)

2018年的MEMS Foundry銷售額排行榜(圖片出自：Yole Développement)

首先可喜可賀的是，Top1是中國的賽微電子（原耐威科技）控股公司Silex Microsystems，2018年Silex Microsystems排在第四位。自2000年成立以來，Silex一直是一家專門生產(chǎn)定制MEMS產(chǎn)品的制造商，并作為一家獨(dú)立的MEMS代工廠運(yùn)營。Silex擁有世界上第一個專用的8英寸純MEMS代工廠。

2015年7月13日，香港投資控股公司GAE Ltd.收購了Silex 98%的股份。因此，GAE已獲得對Silex的實(shí)際控制權(quán)，而GAE的背后則是賽微電子（原來中國的耐威科技），獲得對Silex的控股后，賽微電子在北京建設(shè)了MEMS晶圓代工廠，以擴(kuò)大該公司的產(chǎn)能。Silex在瑞典擁有6英寸和8英寸晶圓廠，并在瑞典投資1200萬美元進(jìn)行了升級。Silex的優(yōu)勢在于使用其自有的硅通孔(TSV)技術(shù)，Silex還使用鋯鈦酸鉛作為壓電材料，用于能量收集等新型應(yīng)用。

變化較大的是ST和格芯，18年ST排在Foundry第一位，這次跌到了第13位；格芯19年賣掉了8寸MEMS工廠，退出了MEMS業(yè)務(wù)，2018年格芯排在第七位，這次已不在席列。

排名第二的Teledyne DALSA和第三Sony未發(fā)生變化，臺積電由2018年的第五上升到了第四位，X-FAB上升了一位排在第五，Asia Paci?c Microsystems從2018年的第10進(jìn)入第7，羅姆由第8跌到第15位。

國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)縮影：產(chǎn)業(yè)鏈初具規(guī)模

最近幾年，國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)過政府和企業(yè)的共同努力，已經(jīng)形成從設(shè)計(jì)研發(fā)（中試）、生產(chǎn)制造、封裝測試到系統(tǒng)集成的完整MEMS產(chǎn)業(yè)鏈條。

在科研領(lǐng)域有蘇州納米科技、上海微技術(shù)工業(yè)研究院、中國科學(xué)院電子所等等；設(shè)計(jì)業(yè)也涌現(xiàn)了一大批優(yōu)秀的企業(yè)，如擠進(jìn)全球前十的歌爾股份、前兩天科創(chuàng)板上市的敏芯股份、瑞聲科技、共達(dá)電聲，還有部分初創(chuàng)MEMS公司已經(jīng)崢嶸初現(xiàn)，如華景傳感、明皜傳感、深迪半導(dǎo)體、通用微，也包括如士蘭微、韋爾股份的傳統(tǒng)型集成電路廠商，還有格科微電子、矽?？萍肌⑿緤W微、美新半導(dǎo)體、青島元芯、華美澳通、無錫納微電子、士蘭微等等；MEMS代工企業(yè)也越來越專業(yè)，如中芯國際、上海先進(jìn)、華潤上華、罕王微電子、賽微電子（原耐威科技）等；封測企業(yè)中包括長電科技、晶方科技、華天科技；系統(tǒng)集成應(yīng)用商包括華為、比亞迪、?？低?、中興等。

在MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域，四大中國廠商包括歌爾股份、瑞聲科技、共達(dá)電聲、敏芯股份合計(jì)市場份額高達(dá)48%，幾乎占據(jù)全球MEMS麥克風(fēng)市場的半壁江山！根據(jù)IHSMarkit的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，敏芯股份MEMS麥克風(fēng)2016年出貨量全球排名第六，2017年全球排名第五，2018年全球排名第四。

2017~2019年全球領(lǐng)先的MEMS麥克風(fēng)廠商營收（來源：麥姆斯咨詢）

目前，在國內(nèi)涉足MEMS的公司中有不少龍頭企業(yè)，歌爾股份和敏芯股份是MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域的龍頭，賽微電子是MEMS代工的龍頭，蘇奧傳感國內(nèi)汽車油量傳感器龍頭，蘇州固锝子公司的MEMS加速度傳感器銷量國內(nèi)名列前茅，華工科技是國內(nèi)家電溫度傳感器龍頭，漢威電子是國內(nèi)氣體傳感器龍頭，還有軍工MEMS的龍頭中航電測。