原標題：創(chuàng)新+耐心，蘇州工業(yè)園區(qū)十年培育納米“慢”產業(yè)

近日，第五屆二維材料國際會議在蘇州舉行。會議期間，坐落在蘇州市工業(yè)園區(qū)的納米科技真空互聯(lián)綜合實驗裝置（NANO-X），正式面向國內外用戶開放，引發(fā)了科學界的關注。

從被外界質疑，到眾人觀望，蘇州工業(yè)園區(qū)在發(fā)展納米技術與產業(yè)這條路上走過了13個年頭。如今，園區(qū)已經成為世界八大納米產業(yè)集聚區(qū)之一，而中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所也成為園區(qū)納米產業(yè)創(chuàng)新的源頭。納米真空互聯(lián)實驗站這個大科學裝置，建成后將形成一個國際頂尖納米科技人才的聚集高地，對地方經濟、科技具有很強的帶動與輻射作用。

納米產業(yè)未來應用空間巨大，但出成果也更慢。蘇州工業(yè)園區(qū)十年培育一個“慢”產業(yè)，用前瞻性的眼光加上“十年磨一劍”的耐心，成就了納米產業(yè)的集聚發(fā)展。

通向未來的納米研究平臺

2014年，全球納米領域的大科學裝置——納米真空互聯(lián)實驗站在園區(qū)開工啟動。

這是世界首個集材料生長、器件加工、測試分析為一體的納米領域大科學裝置。有了它，科學家未來就有可能制造出體積更小、運算速度更高的計算機，以及更加智能的機器人。

“未來電子元器件將發(fā)展到納米級，器件尺寸越來越小，集成度越來越高。但是那么小的器件，以目前的工藝還有很多效應無法解決，不能完成新型器件的制造。所以未來生產納米甚至以下級別的器件需要一種全新的技術路線?！敝袊茖W院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實驗站副總指揮丁孫安說。

而這個實驗裝置就是在類似太空一樣的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺，探索的是未來納米器件制造的新技術。

這個裝置的特點在于，通過超高真空管道把各功能設備相互連接，解決了傳統(tǒng)超凈間模式中難以解決的塵埃、表面氧化和吸附等污染問題。

目前，除了法國、德國等國家已經與實驗站建立了合作關系，還有薛其坤院士團隊、包信和院士團隊、杜江峰院士團隊以及清華、北大、西交大等進行了深度合作，國內半導體相關企業(yè)也紛紛找上門來合作。

丁孫安告訴記者，實驗站力圖通過超高真空條件下的互聯(lián)集成和若干重大項目驗證，突破現(xiàn)有儀器設備的功能限制，實現(xiàn)材料制備、測試分析與微納加工工藝等方面協(xié)同效應，為科研和戰(zhàn)略性新興產業(yè)發(fā)展提供先進的開放平臺。

在試運行階段，本著邊建設邊運行的原則，目前試驗站已經開展了86項國內國際的合作，設備平穩(wěn)運行，用戶使用機時達22000小時。

實驗站的南開大學董紅課題組利用過渡期的小型互聯(lián)裝置，測試多層結構的異質結帶階的相應實驗結果已經發(fā)表。

課題組通過前期的合作項目開展，合作發(fā)表文章100多篇，《自然》子刊多篇，申請專利42項，授權10項。

形成園區(qū)納米生態(tài)閉環(huán)效應

一片2英寸（約5厘米）直徑的白色半透明、塑料質感的小圓片，在國際市場上的售價高達5000美元，而且一片難求——這就是被稱為第三代半導體材料的氮化鎵晶片。

位于蘇州工業(yè)園區(qū)的納維科技，采用納米技術可批量生產2英寸氮化鎵晶片，并已完成4英寸氮化鎵同質晶片襯底的小批量生產。

納維科技正是依托中科院蘇州納米所而建，董事長徐科也是最早加入納米所的幾名研究員之一。作為納米所成立的第一家產業(yè)化公司，通過10年努力，他們在氮化鎵晶體結晶質量與塊體材料電子遷移率等綜合指標方面均步入國際第一方陣，用戶覆蓋了國內外80%以上的研發(fā)機構和企業(yè)。

十多年前，中國科院納米所落戶蘇州工業(yè)園區(qū)，奠定了園區(qū)納米產業(yè)發(fā)展的基礎；今天，納米真空互聯(lián)裝置的建成，真正顯現(xiàn)出本地科研實力+平臺吸附效應，形成園區(qū)納米生態(tài)閉環(huán)效應。

納米科技真空互聯(lián)綜合實驗裝置的重大意義在于，它將基礎研究與應用技術開發(fā)直接對接，縮短和簡化了從材料研究到器件開發(fā)、產業(yè)化的進程，探索納米材料與新器件大規(guī)模制造的技術路線。

丁孫安表示，納米真空互聯(lián)實驗站不僅可以開展硬件研制，也能開發(fā)新的工藝，超導器件、半導體器件等對表面敏感的材料器件都可以在這里制造，可實現(xiàn)量子材料的設計、制備，這樣就可以用于制造強大的量子計算機。利用這套裝置，可以生產更智能化、更可靠、更小型的器件，應用于通訊、信息、人工智能等領域。

“通過大科學裝置，不僅培養(yǎng)了一批國際頂尖納米科技人才，還大大提升了我國重大儀器設備的自主研制水平。”蘇州工業(yè)園區(qū)科技和信息化局局長許文清說，實驗裝置面向全球開放，必將吸引國內外多學科高端科研與技術人才集聚，帶動區(qū)域產業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。