清華大學(xué)最近申請了一項(xiàng)名為“傳感器及其制備方法和應(yīng)用”的專利，專利公開號(hào)為CN202410525818.9，申請日期為2024年4月。這項(xiàng)專利涉及一種新型傳感器，可以測量微納尺寸的功能氧化物薄膜的多種物理性能。這些功能氧化物薄膜在智能電子器件領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用潛力，包括傳感器、驅(qū)動(dòng)器、表面聲波器件、存儲(chǔ)器和柔性電子器件等。

專利的核心在于提出了一種能夠消除基底對功能氧化物薄膜全物性集成化測量影響的傳感器。這種傳感器包括襯底、位于襯底上的金屬層和納米線電極。通過特定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，傳感器可以準(zhǔn)確地測量功能氧化物薄膜的多種物理性能，如熱導(dǎo)率、電導(dǎo)率、塞貝克系數(shù)、載流子濃度、載流子遷移速率等，從而解決了由于基底對樣品的影響造成樣品本征物性測量不準(zhǔn)確的問題。

此外，專利還提出了一種制備上述傳感器的方法，包括在硅片上形成氮化硅薄膜、刻蝕硅片形成硅層、在氮化硅薄膜上形成金屬層等步驟。通過這種方法制備的傳感器能夠有效地用于測量功能氧化物薄膜的多種物理性能，有助于推動(dòng)智能電子器件的研究和應(yīng)用。

這一發(fā)明的意義在于，它為微納尺寸功能氧化物薄膜的物性測量提供了一種新的、更準(zhǔn)確的方法，對于促進(jìn)功能氧化物薄膜在智能電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用具有重要意義。