一、ATE測試機現(xiàn)狀
晶圓測試和成品檢測主要用到自動化測試系統(tǒng)(Automatic Test Equipment,ATE,又稱為測試機)、分選機和探針臺三種設備,其中ATE測試機是檢測設備中最重要的設備類型,價值量占比約為63%:根據數(shù)據顯示,2018年國內ATE測試機、分選機和探針臺市占率分別為63.1%、17.4%和15.2%,其它設備占4.3%。
2018年國內晶圓測試和成品檢測設備市場占比情況
ATE測試機的檢測內容主要為功能和電參數(shù)檢測:ATE測試機通過計算機自動控制,能夠自動完成對半導體的測試,加快檢測電學參數(shù)的速度,降低芯片測試成本,主要測試內容為半導體器件的電路功能、電性能參數(shù),具體涵蓋直流參數(shù)(電壓、電流)、交流參數(shù)(時間、占空比、總諧波失真、頻率等)、功能測試等。
ATE測試機、分選機、探針臺設備對比
二、ATE測試機技術核心
衡量ATE測試機技術先進性的關鍵指標:主要包括測試功能模塊、測試精度、響應速度、應用程序定制化和測試數(shù)據存儲、采集和分析等,其技術核心在于功能集成、精度、速度與可延展性。
功能集成:芯片集成度不斷提升,測試機所需測試的范圍也不斷擴大,能夠覆蓋更大范圍的測試機更受客戶青睞;測試精度:ATE測試機精度影響對不符合要求產品的判斷,重要指標包括測試電流、電壓、電容、時間量;響應速度:下游客戶為提高出貨速度對測試時間要求越來越高,響應速度快的設備;可延展性:ATE測試機價格投入較高,可靈活增加測試功能、提升通道數(shù)和工位數(shù)的設備能夠極大地降低客戶成本。
衡量ATE測試機技術先進性的關鍵指標
三、ATE測試機細分領域
ATE細分領域多元,市場需求存在差異:不同類型芯片的測試需求的側重點不同,ATE根據下游應用可細分為存儲器、SoC、模擬/混合類和功率測試機等;全球ATE市場以存儲器和SoC測試為主,國內模擬/混合測試、數(shù)字測試等領域仍存較大市場空間。
模擬/混合類測試機:主要針對以模擬信號電路為主、數(shù)字信號為輔的半導體而設計的自動測試系統(tǒng),被測電路主包括電源管理器件、高精度模擬器件、數(shù)據轉換器、汽車電子及分立器件等。其中模擬信號是指是指信息參數(shù)在給定范圍內表現(xiàn)為連續(xù)的信號,或在一段連續(xù)的時間間隔內,其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號;數(shù)字信號是指人們抽象出來的時間上不連續(xù)的信號,其幅度的取值是離散的,且幅值被限制在有限個數(shù)值之內。模擬/混合類測試機技術難度整體不高,代表企業(yè)為國外泰瑞達、國內華峰測控、長川科技和上海宏測。
模擬/混合類測試機測試對象、技術參數(shù)及主要玩家
SoC測試機:主要針對以SoC芯片的測試系統(tǒng),SoC芯片即系統(tǒng)級芯片(System on Chip),通??梢詫⑦壿嬆K、微處理器MCU/微控制器CPU內核模塊、數(shù)字信號處理器DSP模塊、嵌入的存儲器模塊、外部進行通訊的接口模塊、含有ADC/DAC的模擬前端模塊、電源管理模塊PMIC等集成在一起,設計和封裝難度高于普通數(shù)字和模擬芯片,SoC測試機被測芯片可以是微處理器MCU、CPU、通信芯片等純數(shù)字芯片或數(shù)?;旌?數(shù)字射頻混合芯片,測試引腳數(shù)可達1000以上,對信號頻率要求較高尤其是數(shù)字通道測試頻率要求較高。目前市場上代表企業(yè)為泰瑞達、愛德萬和華峰測控。
SoC測試機測試對象、技術參數(shù)及主要玩家