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【研究進(jìn)展】基于硅晶格常數(shù)的納米線寬計(jì)量技術(shù)

納米線寬是集成電路的關(guān)鍵尺寸量值，通常也被稱為關(guān)鍵尺寸（Critical Dimension，CD），其量值的準(zhǔn)確性對(duì)芯片器件的性能影響巨大。研究表明，當(dāng)集成電路線寬節(jié)點(diǎn)...

來源 : 中國計(jì)量科學(xué)研究院 | 2022-09-13 13:50

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