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《硅多晶生產(chǎn)用石墨制品表面雜質(zhì)含量的測(cè)定 電感耦合等離子體光譜法》:本文件描述了硅多晶生產(chǎn)用石墨制品表面中鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鉻、鐵、鎳、銅、鋅、砷、鉛、錳、硼、磷等元素含量的電感耦合等離子體光譜測(cè)定方法。本文件適用于硅多晶生產(chǎn)用石墨制品中表面雜質(zhì)元素含量的測(cè)定。