探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尖端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應(yīng)與探針尖匹配。
探針（探針卡）
探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。
操縱器（定位器）：探針臺(tái)使用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖端，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
操縱器（定位器）
關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體測試 探針臺(tái) 瀏覽量：23990
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