一、精密電子零部件概述 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是指尺寸在毫米級(jí)甚至微米級(jí)的微型電子裝置,主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個(gè)大類。由于MEMS的尺寸較小,用于...
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