《人民日?qǐng)?bào)》

打好科技儀器設(shè)備攻堅(jiān)戰(zhàn)

習(xí)近平總書記強(qiáng)調(diào)：“要打好科技儀器設(shè)備、操作系統(tǒng)和基礎(chǔ)軟件國產(chǎn)化攻堅(jiān)戰(zhàn)，鼓勵(lì)科研機(jī)構(gòu)、高校同企業(yè)開展聯(lián)合攻關(guān)，提升國產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，爭(zhēng)取早日實(shí)現(xiàn)用我國自主的研究平臺(tái)、儀器設(shè)備來解決重大基礎(chǔ)研究問題?！?

科技儀器研發(fā)水平是創(chuàng)新實(shí)力的體現(xiàn)，也在很大程度上決定著基礎(chǔ)研究和新技術(shù)、新產(chǎn)品開發(fā)的廣度和深度。從歷史上看，許多重大科學(xué)研究成果的突破，通常以科學(xué)儀器和技術(shù)手段的創(chuàng)新為先導(dǎo)。上世紀(jì)50年代，抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，我國光學(xué)事業(yè)奠基人王大珩帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)攻關(guān)，獲得一系列創(chuàng)新成果，為相關(guān)國產(chǎn)精密儀器發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，推動(dòng)了光學(xué)研究的進(jìn)步。從未來發(fā)展趨勢(shì)看，隨著科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)向物質(zhì)極端尺度推進(jìn)，科技儀器設(shè)備發(fā)揮的作用將更為關(guān)鍵。

——《人民日?qǐng)?bào)》

自主創(chuàng)新

發(fā)展中國自己的電子光學(xué)技術(shù)

王大珩院士曾指出“儀器是認(rèn)識(shí)世界的工具！”電子顯微鏡正是認(rèn)識(shí)亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具。正如《人民日?qǐng)?bào)》提到的，上世紀(jì)50年代，我國光學(xué)事業(yè)奠基人王大珩等人在制定我國《1956～1967年科技發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃綱要》時(shí)提出了要研制電子顯微鏡的想法，并成立了儀器規(guī)劃小組。

抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，王大珩院士帶隊(duì)攻關(guān)，獲得一系列創(chuàng)新成果，為相關(guān)國產(chǎn)精密儀器發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，推動(dòng)了光學(xué)研究的進(jìn)步。

1958年8月，攻關(guān)團(tuán)隊(duì)在長(zhǎng)春光機(jī)所研制成功我國第一臺(tái)“自制”的中型電子顯微鏡DX-100(I)（也稱XD-100(I)），分辨率10nm，開創(chuàng)了中國制造電子顯微鏡的歷史。

我國第一臺(tái)電子顯微鏡DX-100(I)

繼往開來

走好中科科儀電鏡產(chǎn)業(yè)化之路

根據(jù)《科技十年發(fā)展規(guī)劃綱要》的要求，中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠（后轉(zhuǎn)制成為北京中科科儀股份有限公司，本文統(tǒng)稱“中科科儀”），作為中科院重要的科研儀器研制單位，開始承擔(dān)試制高分辨率電子顯微鏡的任務(wù)。1963年，為了集中優(yōu)勢(shì)技術(shù)力量進(jìn)行攻關(guān)，原長(zhǎng)春光機(jī)所從事電子顯微鏡研制工作的骨干研究團(tuán)隊(duì)調(diào)入中科科儀。

中科科儀電子光學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)立足于“自行設(shè)計(jì)為主，參考樣機(jī)為輔”的技術(shù)路線，加強(qiáng)關(guān)鍵核心部件的試驗(yàn)，致力于研發(fā)我國自主設(shè)計(jì)的透射電子顯微鏡。

1965年，中科科儀研制成功DX-2型透射電子顯微鏡，點(diǎn)分辯本領(lǐng)達(dá)5?，達(dá)到國際先進(jìn)水平，這款電鏡被“全國儀器儀表新產(chǎn)品展覽會(huì)”列為重大新產(chǎn)品在展館展出。

上世紀(jì)70年代，基于深厚的電子光學(xué)技術(shù)基礎(chǔ)和產(chǎn)業(yè)化能力，中科科儀開始承擔(dān)中科院關(guān)于掃描電子顯微鏡的試制任務(wù)，自主研制中國自己的掃描電子顯微鏡。

1975年，中科科儀研制成功我國第一臺(tái)DX-3型掃描電子顯微鏡，樣機(jī)通過了來自全國各地30多個(gè)單位，60多名代表的鑒定測(cè)試，分辨率優(yōu)于10nm，主要指標(biāo)達(dá)到當(dāng)時(shí)國際先進(jìn)水平。

1978年，DX-3掃描電子顯微鏡榮獲科學(xué)大會(huì)一等獎(jiǎng)和中國科學(xué)院重大科技成果獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，“科儀廠掃描電鏡組”榮獲國務(wù)院總理親筆題詞的榮譽(yù)證書。DX-3型掃描電鏡，總計(jì)生產(chǎn)了近百臺(tái)，為我國的科研事業(yè)的發(fā)展做出突出貢獻(xiàn)，這既是我國高端科學(xué)儀器研制工作的成功，也是電鏡產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的巨大勝利。

此后，中科科儀電子光學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展，先后研制出我國第一臺(tái)高分辨大型透射電子顯微鏡DX-4型、第一臺(tái)帶有數(shù)字圖像處理功能的掃描電子顯微鏡KYKY-2000型、第一臺(tái)全計(jì)算機(jī)控制的掃描電子顯微鏡KYKY-3800型、第一臺(tái)低真空掃描電子顯微鏡KYKY-EM6900LV型，實(shí)現(xiàn)國內(nèi)領(lǐng)域多項(xiàng)零的突破，始終走在國產(chǎn)科技儀器設(shè)備自主創(chuàng)新之路的最前沿。

劈波斬浪

打好國產(chǎn)科技儀器設(shè)備攻堅(jiān)戰(zhàn)

為提高我國科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和自我裝備水平，2013年，中科科儀作為牽頭單位，勇?lián)鷩a(chǎn)電鏡創(chuàng)新發(fā)展重任，揭榜國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)——“場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)與應(yīng)用”項(xiàng)目，續(xù)寫國產(chǎn)高端科學(xué)儀器自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化發(fā)展新篇章。

2014年，中科科儀突破了多項(xiàng)技術(shù)壁壘，研制成功我國首臺(tái)場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8000，分辨率優(yōu)于1.5nm，打破了國外的技術(shù)和市場(chǎng)壟斷。

2017年，中科科儀研制成功KYKY-EM8100高分辨場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡，分辨率突破至1.0nm，達(dá)到最新國際一流水平，并成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

KYKY-EM8100型場(chǎng)發(fā)射槍掃描電子顯微鏡

由“0”到“1”，“再到“100”，一代代科儀人始終永葆初心、矢志奮斗，繼承和發(fā)揚(yáng)老一輩“電鏡人”的創(chuàng)新精神和嚴(yán)謹(jǐn)作風(fēng)，詮釋新一代擔(dān)當(dāng)，不斷突破關(guān)鍵核心技術(shù)，為國產(chǎn)高端科學(xué)儀器發(fā)展貢獻(xiàn)青春力量。